[发明专利]卡盘及其制造方法

权利要求书

1.一种卡盘的制造方法，其特征在于，

所述卡盘在主体的前表面上配置有在使彼此的旋转轴一致的状态下对工件进行支承的多个爪，

所述卡盘具备：

柱塞，其在使中心与所述旋转轴一致的状态下设置于所述主体的内部，且沿轴向滑移；以及

多个基爪，多个所述基爪构成所述爪，并且，与所述柱塞的滑移联动地在所述主体的前表面沿径向滑移，

所述主体具有：

多个键槽，多个所述键槽以等间隔呈放射状地配置在所述主体的前表面上，并且具有朝向前方呈大致倒T形状的横截面；以及

收纳室，其以与所述多个键槽连通的方式设置于所述主体的中央部，且供所述柱塞嵌入，

所述基爪分别具有：

幅窄部，其嵌合于所述键槽的前侧部分，且在所述主体的前表面露出；

幅宽部，其嵌合于所述键槽的后侧部分，且沿着该键槽滑动；以及

楔形部，其从位于所述幅宽部的径向内侧的端部向后方突出，且与所述柱塞连结，

所述楔形部的宽度形成得比所述幅窄部大，

所述柱塞在其外周部具有多个楔形收纳槽，多个所述楔形收纳槽具有朝向径向外侧呈大致倒T形状的横截面，并且，朝向前方而向中心侧倾斜，

所述楔形部具有：

滑动滑移部，其嵌合于所述楔形收纳槽的径向内侧的部分，且沿着该楔形收纳槽而滑动；以及

松动嵌合滑移部，其嵌合于所述楔形收纳槽的径向外侧的部分，

所述松动嵌合滑移部以不向所述柱塞的外部露出的方式收纳于所述楔形收纳槽的内侧，

在所述幅宽部中的所述楔形部的径向外侧的整个区域形成有平坦的幅宽滑动面，在所述键槽分别形成有与该幅宽滑动面面接触的幅宽被滑动面，

所述制造方法包括在与所述幅宽滑动面的滑动方向正交的方向上对所述幅宽滑动面进行精加工的步骤，

通过所述步骤将所述幅宽滑动面加工成平滑面，以便得到能够与所述幅宽被滑动面以面接触时沿径向及周向双方滑动的高度的平滑度。

2.根据权利要求1所述的卡盘的制造方法，其中，

各基爪的所述滑动滑移部中的宽度方向的各端部配置为在周向上以大致等间隔设置。

3.根据权利要求1所述的卡盘的制造方法，其中，

各基爪的所述滑动滑移部中的宽度方向的各端部配置为在周向上以中心角为大致60度的间隔而设置。

4.一种卡盘，其通过权利要求1到3中任一项所述的卡盘的制造方法来制造。