[发明专利]聚硅氧烷、包含其的组合物以及使用了其的固化膜

说明书

[问题]本发明提供一种聚硅氧烷、包含其的组合物、以及使用了其的固化膜的制造方法，所述聚硅氧烷可形成厚膜的高耐热性的固化膜。[解决方案]本发明提供一种聚硅氧烷、包含其的组合物、以及使用了其的固化膜的制造方法，所述聚硅氧烷包含由以下的式(Ib)表示的重复单元，式中，R²各自独立地为氢、烷基、芳基或者烯基等。

技术领域

本发明涉及聚硅氧烷以及包含聚硅氧烷的组合物。另外，本发明涉及通过使用包含聚硅氧烷的组合物而制造出的固化膜以及使用了该固化膜的器件(device)。

背景技术

近年来，在显示器、发光二极管、太阳能电池等的光学器件方面，为了更进一步提高光利用效率和/或节能而提出了各种提案。例如，在液晶显示器方面，已知如下的方法：通过在TFT器件上包覆形成透明的平坦化膜，在该平坦化膜上形成像素电极，从而提高显示装置的开口率。

作为这样的TFT基板用平坦化膜的材料，已知通过将丙烯酸系树脂与醌二叠氮化合物进行组合而得到的材料。这些材料具备有平坦化特性与感光性，因而可制作接触孔和/或其它的图案。但是，随着分辨率和/或帧频提高，使得布线变得更复杂，因而平坦化变严格，在这些材料方面变得难以应对。

作为用于形成高耐热性、高透明性、高分辨率的固化膜的材料，已知聚硅氧烷。特别是，倍半硅氧烷衍生物的低介电常数、高透射率、高耐热性、UV耐受性、以及涂布均匀性优异，因而被广泛地使用。倍半硅氧烷是如下的特异性的化合物，其为包含3官能度的硅氧烷结构单元RSi(O_1.5)的聚合物，并且在化学结构上是无机二氧化硅(SiO₂)与有机硅树脂(R₂SiO)的中间性存在，但是可溶于有机溶剂，并且由其获得的固化物显现出接近于无机二氧化硅的特征性的高耐热性。另外，在凹凸大的基板进行了涂布、固化的情况下，为了提高平坦性，人们要求开发出能够形成厚膜的聚硅氧烷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开1994-057160号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明想要提供一种聚硅氧烷，其适于制造具有如下的优异特性的固化膜，例如，在进行了厚膜化之时不生成裂纹，等等。此外，本发明进一步也想要提供一种聚硅氧烷组合物以及使用了其的固化膜的制造方法，所述聚硅氧烷组合物能够形成具有优异的特性的图案。

用于解决课题的手段

本发明的聚硅氧烷(Pa)包含由以下的式(Ia)表示的重复单元、以及由以下的式(Ib)表示的重复单元，

式中，R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、支链状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在前述脂肪族烃基以及前述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺或者羰基取代，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代，

R¹为2价或3价的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结；

式中，R²各自独立地为氢，非取代、或者由氧或氮取代了的C_1～10烷基、C_6～20芳基或者C_2～10烯基，或者是由式(Ib’)表示的连结基，

L各自独立地为非取代、或者由氧或氮取代了的C_6～20亚芳基，