[发明专利]铜微粒子烧结体有效
| 申请号: | 201880077321.8 | 申请日: | 2018-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN111417735B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
| 发明(设计)人: | 长田裕仁;佐野义之 | 申请(专利权)人: | DIC株式会社 |
| 主分类号: | C22C1/04 | 分类号: | C22C1/04 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
| 地址: | 日本东京板桥区坂下三丁目3*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 微粒子 烧结 | ||
1.一种由有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成的烧结体,仅由含有碳数8~200的聚环氧乙烷的有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成,且用于半导体装置零件接合,所述烧结体的特征在于:
当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,
将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,
(Hvb/Hva)×100%的值为5%以上、20%以下,
所述铜微粒子由具有1nm~300nm的一次粒径的铜纳米粒子、所述有机化合物、铜氧化物及铜氢氧化物所组成,
所述铜纳米粒子的含有率为95质量%以上,
所述有机化合物、所述铜氧化物及所述铜氢氧化物的总含有率为5%以下,
所述有机化合物为选自下述式(1)~式(3)所表示的硫醚型有机化合物中的至少一者,
W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-X (1)
[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-]dY (2)
[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-Ra-]tZ (3)
式(1)、式(2)及式(3)中的W为C1~C8的烷基,n为表示4~100的重复数的整数,X为C2~C12的烷基、烯丙基、芳基、芳基烷基、-R1-OH、-R1-NHR2或-R1-(COR3)m,R1为C1~C4的饱和烃基,R2为氢原子、C2~C4的酰基、C2~C4的烷氧基羰基、或者可在芳香环上具有C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基作为取代基的苄氧基羰基,R3为羟基、C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基,m为1~3的整数,
Y为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~四价的基团,且为C1~C4的饱和烃基或者2个~3个C1~C4的饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRb-连结而成的基团,Rb为C1~C4的饱和烃基,d为2~4的整数,
Ra为C2~C5的烷基羰基氧基,Z为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~六价的基团,且为C2~C6的饱和烃基、2个~3个C2~C6饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRc-连结而成的基团、或者异氰脲酸-N,N',N”-三乙烯基,Rc为C1~C4的饱和烃基,t为2~6的整数。
2.一种由有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成的烧结体,仅由含有碳数8~200的聚环氧乙烷的有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成,且用于半导体装置零件接合,所述烧结体的特征在于:
当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,
将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,
(Hvb/Hva)×100%的值为7%以上、10%以下,
所述铜微粒子由具有1nm~300nm的一次粒径的铜纳米粒子、所述有机化合物、铜氧化物及铜氢氧化物所组成,
所述铜纳米粒子的含有率为95质量%以上,
所述有机化合物、所述铜氧化物及所述铜氢氧化物的总含有率为5%以下,
所述有机化合物为选自下述式(1)~式(3)所表示的硫醚型有机化合物中的至少一者,
W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-X (1)
[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-]dY (2)
[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-Ra-]tZ (3)
式(1)、式(2)及式(3)中的W为C1~C8的烷基,n为表示4~100的重复数的整数,X为C2~C12的烷基、烯丙基、芳基、芳基烷基、-R1-OH、-R1-NHR2或-R1-(COR3)m,R1为C1~C4的饱和烃基,R2为氢原子、C2~C4的酰基、C2~C4的烷氧基羰基、或者可在芳香环上具有C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基作为取代基的苄氧基羰基,R3为羟基、C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基,m为1~3的整数,
Y为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~四价的基团,且为C1~C4的饱和烃基或者2个~3个C1~C4的饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRb-连结而成的基团,Rb为C1~C4的饱和烃基,d为2~4的整数,
Ra为C2~C5的烷基羰基氧基,Z为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~六价的基团,且为C2~C6的饱和烃基、2个~3个C2~C6饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRc-连结而成的基团、或者异氰脲酸-N,N',N”-三乙烯基,Rc为C1~C4的饱和烃基,t为2~6的整数。
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