[发明专利]铜微粒子烧结体有效

专利信息
申请号: 201880077321.8 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN111417735B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 长田裕仁;佐野义之 申请(专利权)人: DIC株式会社
主分类号: C22C1/04 分类号: C22C1/04
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本东京板桥区坂下三丁目3*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 微粒子 烧结
【权利要求书】:

1.一种由有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成的烧结体,仅由含有碳数8~200的聚环氧乙烷的有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成,且用于半导体装置零件接合,所述烧结体的特征在于:

当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,

将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,

(Hvb/Hva)×100%的值为5%以上、20%以下,

所述铜微粒子由具有1nm~300nm的一次粒径的铜纳米粒子、所述有机化合物、铜氧化物及铜氢氧化物所组成,

所述铜纳米粒子的含有率为95质量%以上,

所述有机化合物、所述铜氧化物及所述铜氢氧化物的总含有率为5%以下,

所述有机化合物为选自下述式(1)~式(3)所表示的硫醚型有机化合物中的至少一者,

W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-X (1)

[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-]dY (2)

[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-Ra-]tZ (3)

式(1)、式(2)及式(3)中的W为C1~C8的烷基,n为表示4~100的重复数的整数,X为C2~C12的烷基、烯丙基、芳基、芳基烷基、-R1-OH、-R1-NHR2或-R1-(COR3)m,R1为C1~C4的饱和烃基,R2为氢原子、C2~C4的酰基、C2~C4的烷氧基羰基、或者可在芳香环上具有C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基作为取代基的苄氧基羰基,R3为羟基、C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基,m为1~3的整数,

Y为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~四价的基团,且为C1~C4的饱和烃基或者2个~3个C1~C4的饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRb-连结而成的基团,Rb为C1~C4的饱和烃基,d为2~4的整数,

Ra为C2~C5的烷基羰基氧基,Z为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~六价的基团,且为C2~C6的饱和烃基、2个~3个C2~C6饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRc-连结而成的基团、或者异氰脲酸-N,N',N”-三乙烯基,Rc为C1~C4的饱和烃基,t为2~6的整数。

2.一种由有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成的烧结体,仅由含有碳数8~200的聚环氧乙烷的有机化合物复合化而成的铜微粒子烧结而成,且用于半导体装置零件接合,所述烧结体的特征在于:

当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,

将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,

(Hvb/Hva)×100%的值为7%以上、10%以下,

所述铜微粒子由具有1nm~300nm的一次粒径的铜纳米粒子、所述有机化合物、铜氧化物及铜氢氧化物所组成,

所述铜纳米粒子的含有率为95质量%以上,

所述有机化合物、所述铜氧化物及所述铜氢氧化物的总含有率为5%以下,

所述有机化合物为选自下述式(1)~式(3)所表示的硫醚型有机化合物中的至少一者,

W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-X (1)

[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-]dY (2)

[W-(OCH2CH2)n-O-CH2-CH(OH)-CH2-S-Ra-]tZ (3)

式(1)、式(2)及式(3)中的W为C1~C8的烷基,n为表示4~100的重复数的整数,X为C2~C12的烷基、烯丙基、芳基、芳基烷基、-R1-OH、-R1-NHR2或-R1-(COR3)m,R1为C1~C4的饱和烃基,R2为氢原子、C2~C4的酰基、C2~C4的烷氧基羰基、或者可在芳香环上具有C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基作为取代基的苄氧基羰基,R3为羟基、C1~C4的烷基或C1~C8的烷氧基,m为1~3的整数,

Y为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~四价的基团,且为C1~C4的饱和烃基或者2个~3个C1~C4的饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRb-连结而成的基团,Rb为C1~C4的饱和烃基,d为2~4的整数,

Ra为C2~C5的烷基羰基氧基,Z为其中与硫原子直接键结者为碳原子的二价~六价的基团,且为C2~C6的饱和烃基、2个~3个C2~C6饱和烃基通过-O-、-S-或-NHRc-连结而成的基团、或者异氰脲酸-N,N',N”-三乙烯基,Rc为C1~C4的饱和烃基,t为2~6的整数。

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