[发明专利]用于处理、涂覆或固化基材的设备和方法

权利要求书

1.一种用于处理、固化或涂覆基材的设备，所述设备包括：

等离子体发生器，其被布置为产生等离子体；和

磁体阵列，其被布置为在空间上限定所述等离子体以形成闭环跑道，所述磁体阵列包括具有交替极性且布设为平行关系的多个细长磁体，其中每个细长磁体具有限定通道区域的第一端和限定阻挡区域的第二端，其中处于通道区域的通量绕磁体的所述第一端延伸，绕所述磁体的所述第二端延伸的通量受到所述阻挡区域的抑制，从而限定了蜿蜒的等离子体跑道。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述磁体阵列包括：

第一细长磁体，所述第一细长磁体具有第一极性；

第二细长磁体，所述第二细长磁体与所述第一细长磁体相邻设置并且基本平行于所述第一细长磁体，所述第二细长磁体具有与所述第一极性相反的第二极性，使得在所述第一细长磁体和所述第二细长磁体之间限定有第一平直磁通部分；

第三细长磁体，所述第三细长磁体具有第一端和第二端，所述第三磁体与所述第二细长磁体相邻设置并且基本平行于所述第二细长磁体，所述第三磁体具有所述第一极性，使得在所述第二细长磁体和所述第三细长磁体之间限定有第二平直磁通部分，所述第二平直磁通部分通过绕所述第二细长磁体的所述第一端延伸的第一弯曲磁通部分与所述第一平直磁通部分连接；和

第四细长磁体，所述第四细长磁体与所述第三细长磁体相邻设置并且基本平行于所述第三细长磁体，所述第四细长磁体具有第一端和第二端，所述第一端与所述第三细长磁体的所述第二端相邻，所述第四细长磁体具有所述第二极性，使得在所述第三细长磁体和所述第四细长磁体之间限定有第三平直磁通部分，所述第三平直磁通部分通过绕所述第三细长磁体的所述第一端延伸的第二弯曲磁通部分与所述第二平直磁通部分连接。

3.根据任一项前述权利要求所述的设备，其中，每个所述细长磁体由多个单独的磁体形成。

4.根据任一项前述权利要求所述的设备，其中，所述第一细长磁体的中心与所述第三细长磁体的中心对准，并且所述第二细长磁体的中心与所述第四细长磁体的中心对准，并且其中所述第一细长磁体和所述第三细长磁体的所述中心相对于所述第二细长磁体和所述第四细长磁体的所述中心偏移。

5.根据任一项前述权利要求所述的装置，其中，所述磁体阵列还包括位于每个细长磁体的一端或两端处的一个或多个转向磁体，其中，所述转向磁体具有与所述细长磁体相同的极性，但所述转向磁体的取向与所述细长磁体的取向不同。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，第一转向磁体和第三转向磁体分别位于所述第一细长磁体和所述第三细长磁体的第一端，并且第二转向磁体和第四转向磁体位于所述第二细长磁体和所述第四细长磁体的第二端，其中所述第二端与所述第一端相对，并且其中所述转向磁体的取向与所述细长磁体的取向垂直。

7.根据权利要求6所述的设备，其中，每个转向磁体的中心与各对应细长磁体的纵轴相对准。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，每个所述转向磁体的一端与各对应细长磁体的纵轴对齐。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的设备，其中，所述第一转向磁体与所述第三转向磁体接触，并且所述第二转向磁体与所述第四转向磁体接触。

10.根据权利要求5所述的设备，其中，所述磁体阵列的所述细长磁体和转向磁体被布置成交错或锯齿形结构。

11.根据权利要求5所述的设备，其中，

转向磁体位于每个所述细长磁体的一端，其中所述转向磁体相对于所述细长磁体定向在45度，并位于每个所述细长磁体的相间端。

12.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述基材为柔性基材，并且所述设备还包括支撑件，所述支撑件被布置为通过移动来输送所述柔性基材。