[发明专利]泄漏检测系统及其制造和使用方法

说明书

本发明提供了一个泄漏检测系统，所述泄漏检测系统包括：传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态具有干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件。

技术领域

本公开涉及泄漏检测系统及其制造和使用方法。

背景技术

许多工业应用和商业应用涉及流体的使用，这些流体可用于例如加工步骤、制造功能(诸如掩蔽或蚀刻)或温度控制中。鉴于一些流体具有不利的环境影响或生物影响，它们可能特别有害或需要特别关注。其他流体可能非常有价值，例如半导体制备材料。

许多行业持续要求准确有效地监测有害流体或有价值的流体的泄漏的方法。

附图简要说明

实施例以实例的方式示出，并非旨在受到附图的限制。

图1包括根据一个实施例的示例性泄漏检测系统的透视图。

图2包括根据多个实施例的多个示例性泄漏检测系统的侧正视图，所述多个示例性泄漏检测系统设置在接合流体部件之间的流体界面上。

图3包括根据一个实施例的传感器的示意图。

图4包括根据一个实施例的传感器的横截面正视图。

图5包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。

图6包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。

图7包括根据另一个实施例的传感器的示意图。

图8包括根据一个实施例的传感器的横截面正视图。

图9包括根据一个实施例的在干燥状态下的另一个传感器的示意图。

图10包括根据一个实施例的在润湿状态下的图9的传感器的示意图。

图11包括根据一个实施例的具有电路的另一个传感器的示意图。

图12包括根据一个实施例的具有电路的另一个传感器的示意图。

图13包括根据一个实施例的具有两个检测元件的传感器的横截面正视图。

图14包括根据一个实施例的流体导管的透视图，该流体导管具有多个耦接至其上的传感器，每个传感器各自具有不同的附接元件。

图15包括根据一个实施例的泄漏检测系统的透视图。

图16包括根据一个实施例的附接元件的透视图。

图17包括根据一个实施例的泄漏检测阵列的透视图。

具体实施方式

提供结合附图的以下描述以帮助理解本文所公开的教导内容。以下论述将集中于本教导内容的具体实施方式和实施例。提供该重点是为了帮助描述教导内容，并且不应该被解释为是对本教导内容的范围或适用性的限制。然而，可基于本发明所公开的教导内容使用其他实施例。

术语″由...构成″″包括″″包含″″具有″″有″或它们的任何其他变型旨在涵盖非排他性的包含之意。例如，包括特征列表的方法、制品或装置不一定仅限于那些特征，而是可以包括未明确列出的或这种方法、制品或装置固有的其他特征。另外，除非另有明确说明，否则″或″是指包括性的″或″而非排他性的″或″。例如，以下任何一项均可满足条件A或B：A为真(或存在的)而B为假(或不存在的)、A为假(或不存在的)而B为真(或存在的)，以及A和B两者都为真(或存在的)。