[发明专利]发光二极管的弹性体层制造

权利要求书

1.一种方法，包括：

在载体衬底上的发光二极管(LED)管芯上及所述LED管芯之间沉积光致抗蚀剂材料；

响应于沉积所述光致抗蚀剂材料，穿过所述载体衬底朝向所述LED管芯和所沉积的光致抗蚀剂材料施加光；

吸收入射到所述LED管芯上的所述光的一部分，以在所述LED管芯上保留可溶性第一部分光致抗蚀剂材料；

将在所述LED管芯之间的光致抗蚀剂材料部分暴露于所述光的另一部分，以使在所述LED之间的第二部分光致抗蚀剂材料变成不溶性的；

响应于施加所述光，去除所述第一部分光致抗蚀剂材料；

响应于去除所述第一部分，在每个LED管芯上以及在所述第二部分光致抗蚀剂之间沉积弹性体材料；和

响应于沉积所述弹性体材料，去除所述第二部分光致抗蚀剂材料，所述弹性体材料在所述LED管芯上形成弹性体界面层。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过将非适形拾取头附接到所述LED管芯上方的所述弹性体界面层，来拾取在所述载体衬底上的所述LED管芯的至少一部分；和

将附接到所述非适形拾取头的所述LED管芯的所述至少一部分放置在限定电子显示器的像素控制电路的显示器衬底上。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在原生衬底上制造所述LED管芯；

将能够膨胀的载体膜附接到所述原生衬底上的所述LED管芯的第一侧；

将所述原生衬底与所述LED管芯拆离；

将附接到所述载体膜的所述LED管芯单个化；

通过使所述载体膜膨胀以限定在所述LED管芯之间的开放区域来分离所述LED管芯；

将所述载体衬底带到所述LED管芯的第二侧，所述载体衬底包括衬底层和粘合剂层，所述LED管芯附接到所述载体衬底的粘合剂层，其中在所述LED管芯之间限定所述开放区域；和

将所述载体膜与所述LED管芯的第一侧分离，以暴露所述LED管芯的第一侧以沉积所述弹性体材料。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述载体衬底包括粘合剂层和玻璃衬底层，所述LED管芯通过所述粘合剂层附接到所述载体衬底。

5.根据权利要求1所述的方法，其中：

去除所述第一部分光致抗蚀剂材料包括用第一溶剂溶解所述第一部分；和

响应于沉积所述弹性体材料而去除所述第二部分光致抗蚀剂材料包括用不同于所述第一溶剂的第二溶剂溶解所述第二部分光致抗蚀剂材料。

6.根据权利要求5所述的方法，其中：

所述第一溶剂对所述不溶性第二部分光致抗蚀剂材料是良性的；和

所述第二溶剂对在所述LED管芯上形成所述弹性体界面层的弹性体材料是良性的。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述LED管芯是微LED，并且包括氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)或磷化镓(GaP)。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述LED管芯吸收穿过所述载体衬底入射到所述LED管芯上的紫外(UV)光。

9.一种方法，包括：

在载体衬底上的发光二极管(LED)管芯上及所述LED管芯的侧部表面处沉积光致抗蚀剂材料；

响应于沉积所述光致抗蚀剂材料，穿过所述载体衬底朝向所述LED管芯和所沉积的光致抗蚀剂材料施加光；

吸收入射到所述LED管芯上的所述光的一部分，以在所述LED管芯上保留可溶性第一部分光致抗蚀剂材料；

将在所述LED管芯的侧部表面处的光致抗蚀剂材料部分暴露于所述光的另一部分，以使在所述LED的侧部表面处的第二部分光致抗蚀剂材料变成不溶性的；

响应于施加所述光，去除所述第一部分光致抗蚀剂材料；

响应于去除所述第一部分，在所述LED管芯上以及在所述第二部分光致抗蚀剂之间沉积弹性体材料；和

响应于沉积所述弹性体材料，去除所述第二部分光致抗蚀剂材料，所述弹性体材料在所述LED管芯上形成弹性体界面层。