[发明专利]光子计数装置和光子计数方法

权利要求书

1.一种光子计数装置，其特征在于，包括：

多个像素，其包含将输入的光转换为电荷的光电转换元件和将由所述光电转换元件转换的电荷放大并转换为电压的放大器；

A/D转换器，其将从所述多个像素各自的所述放大器输出的电压转换为数字值而输出；

修正部，其修正从所述A/D转换器输出的所述数字值，以抑制所述多个像素间的增益和偏置值的偏差的影响；

运算部，其输出将至少2个所述像素的所述修正后的数字值彼此相加而得到的相加值；和

转换部，其通过参考用于对相邻的电子数彼此进行区分的阈值数据，将从所述运算部输出的所述相加值转换为光子数。

2.如权利要求1所述的光子计数装置，其特征在于：

所述修正部参照与所述增益和所述偏置值对应的、对于所述多个像素共用的预先设定的参数，基于所述增益和所述偏置值与所述参数的偏离来修正所述多个像素各自的所述数字值。

3.如权利要求1或2所述的光子计数装置，其特征在于：

所述放大器的读出噪声为0.2[e-rms]以下。

4.如权利要求1或2所述的光子计数装置，其特征在于：

所述放大器的读出噪声为0.15[e-rms]以下。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光子计数装置，其特征在于：

所述增益为10[DN/e]以上。

6.一种光子计数方法，其特征在于，包括：

将输入到分别构成多个像素的光电转换元件的光转换为电荷的步骤；

将转换后的所述电荷由构成所述多个像素的放大器放大，并转换为电压的步骤；

将从各个所述放大器输出的电压由A/D转换器转换为数字值而输出的步骤；

修正从所述A/D转换器输出的所述数字值，以抑制所述多个像素间的增益和偏置值的偏差的影响的步骤；

将与至少2个所述像素对应的所述修正后的数字值相加，输出相加值的步骤；和

通过参考用于对相邻的电子数彼此进行区分的阈值数据，将所述相加值转换为光子数的步骤。

7.如权利要求6所述的光子计数方法，其特征在于：

在修正所述数字值的步骤中，基于所述增益和所述偏置值与参数的偏离来修正所述多个像素各自的所述数字值，

所述参数与所述增益和所述偏置值对应，以对于所述多个像素共用的方式预先设定。

8.如权利要求6或7所述的光子计数方法，其特征在于：

所述放大器的读出噪声为0.2[e-rms]以下。

9.如权利要求6或7所述的光子计数方法，其特征在于：

所述放大器的读出噪声为0.15[e-rms]以下。

10.如权利要求6～9中任一项所述的光子计数方法，其特征在于：

所述增益为10[DN/e]以上。