[发明专利]具有增强型正面阵列的低温泵有效
| 申请号: | 201880074264.8 | 申请日: | 2018-11-15 |
| 公开(公告)号: | CN111542698B | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
| 发明(设计)人: | P.K.马奥尼;J.J.卡塞洛 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张小文;王丽辉 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 增强 正面 阵列 低温泵 | ||
1.一种低温泵,其包括:
低温制冷机,其包括冷级和更冷级;
辐射屏蔽件,其具有侧部、封闭端部、以及与所述封闭端部相对的正面开口,所述辐射屏蔽件热耦合到所述冷级并被所述冷级冷却;
主要低温抽吸阵列,其热耦合到所述更冷级并被所述更冷级冷却,所述主要低温抽吸阵列支撑吸附材料;以及
正面阵列,其热耦合到所述冷级,与所述主要低温抽吸阵列的面向正面的包封部间隔开并包绕在所述包封部周围,以便处于从所述正面开口到所述主要低温抽吸阵列的辐射路径中,以使所述主要低温抽吸阵列上的辐射负荷小于4%,所述正面阵列从所述正面开口凹入,并且与到所述正面开口相比更靠近所述主要低温抽吸阵列。
2.一种低温泵,其包括:
低温制冷机,其包括冷级和更冷级;
辐射屏蔽件,其具有侧部、封闭端部、以及与所述封闭端部相对的正面开口,所述辐射屏蔽件热耦合到所述冷级并被所述冷级冷却;
主要低温抽吸阵列,其热耦合到所述更冷级并被所述更冷级冷却,所述主要低温抽吸阵列支撑吸附材料并且其横截面积基本上小于所述正面开口的横截面积,所述主要低温抽吸阵列具有面向正面的包封部,所述包封部朝向其中心比在其周边处更靠近所述辐射屏蔽件的正面开口;以及
正面阵列,其通过基本上独立于所述辐射屏蔽件的热路径热耦合到所述冷级,所述正面阵列具有面向正面的包封部,所述正面阵列的包封部在其中心处比在其周边处更靠近所述辐射屏蔽件的正面开口,并且所述正面阵列与所述主要低温抽吸阵列的所述面向正面的包封部间隔开并包绕在所述主要低温抽吸阵列的包封部周围,以便处于从所述正面开口到所述主要低温抽吸阵列的辐射路径中,以使所述主要低温抽吸阵列上的辐射负荷小于4%。
3.根据权利要求2所述的低温泵,其中,所述正面阵列从所述正面开口凹入,且与到所述正面开口相比更靠近所述主要低温抽吸阵列。
4.根据任一前述权利要求所述的低温泵,其中,所述正面阵列定位在所述正面开口区域下方达所述辐射屏蔽件的全长的至少20%。
5.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述正面阵列定位成顶表面在所述辐射屏蔽件的所述正面开口下方50 mm至100 mm的范围内。
6.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述正面阵列与所述主要低温抽吸阵列间隔小于25 mm。
7.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述主要低温抽吸阵列的横截面积的向正面突出的横截面积小于所述正面开口的面积的50%。
8.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述正面阵列的向正面突出的横截面积小于所述正面开口的面积的60%且大于所述主要低温抽吸阵列的横截面积。
9.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述主要低温抽吸阵列的所述面向正面的包封部是圆顶形的,并且所述正面阵列的面向正面的包封部是圆顶形的。
10.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述正面阵列包括环形百叶窗板。
11.根据权利要求10所述的低温泵,其中,朝向所述正面阵列的中心的百叶窗板的宽度大于朝向周边的百叶窗板。
12.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述正面阵列通过包围所述更冷级的圆筒耦合到所述冷级。
13.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述辐射屏蔽件在其封闭端部处为圆顶形,并且所述主要低温抽吸阵列具有圆顶形的远侧包封部。
14.根据权利要求1或2所述的低温泵,其具有至少20%的氢气捕集概率。
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