[发明专利]用于改变发电机的视在源阻抗的方法和装置有效

专利信息
申请号: 201880074254.4 申请日: 2018-10-11
公开(公告)号: CN111357076B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: G·J·J·范兹尔 申请(专利权)人: 先进能源工业公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H03H7/40
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 林金朝
地址: 美国科*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 改变 发电机 阻抗 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种用于控制连接到负载的发电机的方法,包括:

调节所述发电机的输出,其中,响应于调节所述输出,与根据参考阻抗Zc计算出的正向功率有关的第一测量值M1趋于M1的第一设定值S1;以及

调节S1,以便将发电机输出的常规测量的第二测量值M2朝向M2的第二设定值S2调节。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,根据所述参考阻抗Zc计算出的所述正向功率等于:

其中,v是参考点处的电压,并且i是所述参考点处相对于所述负载流动的电流。

3.根据权利要求2所述的方法,其中,与根据所述参考阻抗Zc计算出的正向功率有关的第一测量值M1是从对v和i的数学运算得到的任何值x,使得针对与到所述负载的功率传输有关的v和i的所有组合,对于v和i的不同组合保持x恒定意味着对于v和i的那些相同组合保持|v+Zci|恒定。

4.根据权利要求2所述的方法,其中,与根据所述参考阻抗Zc计算出的正向功率有关的所述第一测量值M1等于f(|v+Zci|),其中,f是任何一对一的函数。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,发电机输出的常规测量的所述第二测量值M2是电压、电流、传输功率或根据50Ω或75Ω计算出的正向功率之一。

6.根据权利要求2所述的方法,其中,所述参考点在所述发电机的输出与所述负载之间。

7.根据权利要求2所述的方法,其中,所述参考点在数学上被延伸为距所述发电机比所述负载距所述发电机更远,或者距所述负载比所述发电机距所述负载更远。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,Zc是可调节的。

9.根据权利要求8所述的方法,其中,调节Zc以便提高稳定性。

10.根据权利要求9所述的方法,其中,通过将Zc设置为等于下式来建立Zc

其中,ρ是幅值在0到1之间的复数,并且ρ的角度从0°到360°改变,并且其中Zc是基于到所述负载的功率传输中的任何振荡的频率以及基于操作的稳定区域来建立的,在所述操作中,存在振荡频率的急剧变化。

11.根据权利要求8所述的方法,其中,所述负载是等离子体负载,并且调节Zc以便提高等离子体激发。

12.根据权利要求1所述的方法,其中,所述发电机是射频发电机,并且Zc能够取复数值。

13.根据权利要求1所述的方法,其中,所述发电机是直流发电机,并且Zc被限制为实数值。

14.根据权利要求1所述的方法,其中,|Zc-Z0|/|Zc+Z0|>0.3,其中Z0是用于传导功率的同轴电缆的特征阻抗。

15.根据权利要求14所述的方法,其中,Z0=50。

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