[发明专利]泵装置

说明书

本发明的一个方式所涉及的泵装置具有流体通道。所述流体通道具有：设置于壳体的第二端部的第一连接口；设置于所述壳体的第一主面部的第二连接口；从所述第一连接口起与第一轴的方向平行地延伸，连通所述第一连接口和所述第二连接口之间的第一通道部；以及连通所述第一通道部和泵室之间的第二通道部。所述第一通道部具有：在与所述第一轴的方向正交的第二轴的方向上彼此相向的两个侧壁部；以及包含从所述两个侧壁部向所述泵室内的一对螺杆轴的轴心之间倾斜的一对倾斜面的底壁部。

技术领域

本发明涉及具有一对螺杆转子的泵装置。

背景技术

作为容积型的干式真空泵，已知有例如双螺杆泵。这种螺杆泵具备具有吸入口和排出口的壳体、以及收容于壳体的一对螺杆转子，该螺杆泵被构成为通过使这一对螺杆转子旋转来将气体从吸入口向排出口输送。此外，通常将这种真空泵多级连接来谋求排气能力的提高(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6100038号公报。

发明内容

发明要解决的课题

近年来，在这种真空泵中，小型化、低高度化的要求日益提高。例如，期待一种即使在上下连接多台真空泵进行多级化时也能够使泵整体的设置高度变低的结构。

鉴于如上的情况，本发明的目的在于提供一种能够谋求小型化、低高度化的泵装置。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的泵装置具有一对螺杆轴、壳体、驱动机构以及流体通道。

所述一对螺杆轴与第一轴的方向平行地配置，在与所述第一轴正交的第二轴的方向上彼此邻接。

所述壳体具有：在第一轴的方向上彼此相向的第一端部和第二端部；收容所述一对螺杆轴并在所述第二轴的方向上彼此连接的泵室；以及与所述泵室在与所述第一轴和所述第二轴分别正交的第三轴的方向上相向的第一主面部。

所述驱动机构被构成为：与所述第一端部连接，能够使所述一对螺杆轴旋转。

所述流体通道具有：设置于所述第二端部的第一连接口；设置于所述第一主面部的第二连接口；从所述第一连接口起与所述第一轴的方向平行地延伸，连通所述第一连接口和所述第二连接口之间的第一通道部；以及连通所述第一通道部和所述泵室之间的第二通道部，所述第一通道部具有：在所述第二轴的方向上彼此相向两个侧壁部；以及包含从所述两个侧壁部向所述一对螺杆轴的轴心之间倾斜的一对倾斜面的底壁部。

在上述泵装置中，连通第一连接口和第二连接口之间的第一通道部具有底壁部，所述底壁部包含从在第二轴的方向上彼此相向的两个侧壁部向一对螺杆轴的轴心之间倾斜的一对倾斜面，因此能够在确保第一通道部的流路截面面积的同时缩短第一通道部和泵室之间的距离。由此，能够实现壳体的薄型化或低高度化。

也可以是：所述一对倾斜面分别是向所述第一通道部的内方呈凸起的形状的弯曲面。

也可以是：所述第二通道部与所述第三轴的方向平行地延伸，所述第一通道部和所述第二通道部的连接点与所述第一连接口在所述第一轴的方向上相向。

也可以是：所述泵装置还具有轴承单元。

所述轴承单元包含一对轴承和一对轴承保持器。所述一对轴承被设置在所述第二端部，以分别能够旋转的方式支承所述一对螺杆轴。一对轴承保持器保持所述一对轴承。

所述一对轴承保持器分别使用三个第一紧固件被固定在所述另一端部，所述三个第一紧固件中的两个位于比所述一对轴承的轴心靠所述第一连接口的相反侧，所述三个第一紧固件中的剩余的一个位于比所述一对轴承的轴心靠所述第一连接口一侧。