[发明专利]光谱分析装置

权利要求书

1.一种光谱分析装置，其构造为通过利用光照射样品而获得的反射光的反射吸收光谱来对所述样品进行成分分析，所述光谱分析装置包括：

光源，其构造为发射用于照射所述样品的光；

棱镜，其被粘附到所述样品并且构造为全反射从所述光源发射的所述光；

偏振光分离元件，其构造为将由所述棱镜全反射的所述光分离为彼此正交的第一偏振光分量和第二偏振光分量；

波长色散元件，其构造为对由所述偏振光分离元件分离的所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量的对应的波长分量进行色散；

图像拍摄元件，其构造为拍摄由所述波长色散元件色散的所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量的对应的图像；以及

处理单元，其构造为通过使用从所述图像拍摄元件输出的成像信号获得每个波长下的吸光度来对所述样品进行成分分析。

2.根据权利要求1所述的光谱分析装置，还包括：

三角棱镜，其位于所述偏振光分离元件与所述波长色散元件之间，并且构造为将由所述偏振光分离元件分离的所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量转换成准直光，以及

狭缝，其位于所述三角棱镜与所述波长色散元件之间，并且构造为使由所述三角棱镜转换成所述准直光的所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量的所述准直光的分量透射通过所述狭缝，以将所述准直光的分量引导至所述波长色散元件。

3.根据权利要求1或2所述的光谱分析装置，其中，所述波长色散元件的光栅角度被设定为使得所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量的效率相同的角度。

4.一种光谱分析装置，其构造为通过利用光照射样品而获得的反射光的反射吸收光谱来对所述样品进行成分分析，所述光谱分析装置包括：

光源，其构造为发射用于照射所述样品的光；

棱镜，其被粘附到所述样品并且构造为全反射从所述光源发射的所述光；

偏振光分离元件，其构造为将由所述棱镜全反射的所述光分离为彼此正交的第一偏振光分量和第二偏振光分量，所述偏振光分离元件是层叠有双折射晶体的萨伐尔板；

波片，其构造为将由所述偏振光分离元件分离的所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量中的一个转换成偏振方向旋转了90°的第三偏振光分量；

干涉单元，其构造为使所述第一偏振光分量和所述第二偏振光分量中的另一个与所述第三偏振光分量彼此干涉；

图像拍摄元件，其构造为拍摄作为干涉的结果而获得的干涉条纹的图像；以及

处理单元，其构造为通过使用从所述图像拍摄元件输出的成像信号获得每个波长下的吸光度来对所述样品进行成分分析。

5.根据权利要求4所述的光谱分析装置，其中，所述偏振光分离元件、所述波片和所述干涉单元彼此粘接。