[发明专利]衍射光学元件

权利要求书

1.一种衍射光学元件，其特征在于，具备

基材、和

设于所述基材的一个面上、相对于入射光呈现规定的衍射作用的凹凸部、和

设于所述基材和所述凹凸部之间的防反射层，

构成所述凹凸部的凸部的第一媒质与构成所述凹凸部的凹部的第二媒质的在所述入射光的波长带中的折射率差在0.70以上，

所述入射光在从所述基材的法线方向入射时，作为表示从所述凹凸部射出的衍射光所形成的光图案的扩散的角度范围的射出角度范围在60°以上。

2.如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第二媒质是空气，所述第一媒质的在所述入射光的波长带中的折射率在1.70以上。

3.如权利要求1或权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于，

在将所述第一媒质和所述第二媒质的在所述入射光的波长带中的折射率差设为Δn、将所述射出角度范围设为θ_out时，满足

Δn/sin(θ_out/2)≥1.0。

4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，所述入射光的波长带中的0级光的光量低于3.0％。

5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述射出角度范围在100°以上，

所述入射光的波长带中的0级光的光量低于1.5％。

6.如权利要求1至权利要求5中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述射出角度范围低于140°，

所述入射光的波长带中的0级光的光量低于0.5％。

7.如权利要求1至权利要求6中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第一媒质为无机材料。

8.如权利要求1至权利要求7中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，所述凹凸部至少在有效范围内不与所述基材相接。

9.如权利要求1至权利要求8中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述防反射层是电介质多层膜，其对于以相对于所述基材的法线方向为所述射出角度范围的1/4的角度从元件射出的所述入射光的波长带的至少特定的偏振光的反射率在0.5％以下。

10.如权利要求1至权利要求9中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述防反射层对于以相对于所述基材的法线方向40°以内入射到该防反射层的所述入射光的波长带的至少特定的偏振光的反射率在0.5％以下。

11.如权利要求1至权利要求10中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述入射光是波长700nm～1200nm中的至少一部分的波长带的光，

所述防反射层对于以相对于所述基材的法线方向20°以内入射到该防反射层的波长360～370nm的至少特定的偏振光的反射率在1.0％以下。

12.如权利要求1至权利要求11中任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，

在所述基材的与设有所述凹凸部的一侧相反的一侧的表面上具备第二防反射层。

13.如权利要求12所述的衍射光学元件，其特征在于，

所述第二防反射层对于以相对于所述基材的法线方向为所述射出角度范围的1/4的角度从元件射出的所述入射光的波长带的至少特定的偏振光的反射率在0.5％以下。