[发明专利]用于测试测试样品电气性能的探针和相关的接近探测器

权利要求书

1.一种使探针接近测试样品以测试所述测试样品的电气性能的方法，所述方法包括：

提供具有限定用于支撑第一悬臂的平坦表面的探针主体的探针，和第一热探测器，

-所述第一悬臂在所述平坦表面支撑的第一近端与与所述第一近端相对的第一远端之间以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸，

所述第一悬臂具有支撑第一接触探针的悬臂表面，

-所述第一热探测器在所述平坦表面支撑的第二近端与与所述第二近端相对的第二远端之间以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸，所述第一热探测器具有支撑具有温度依赖性电阻的电导体的探测器表面，以及提供支撑所述第一热探测器和所述第一接触探针的膜，其中所述第一热探测器的远端距所述膜的顶部边缘有第一距离，且所述第一接触探针的远端延伸到所述膜的所述顶部边缘，以及

所述方法进一步包括：

在所述电导体与所述测试样品之间建立温差，

在所述电导体中注入电流，

提供电子电路，将所述电子电路连接到所述电导体，在将所述探针移向所述测试样品的同时借助于所述电子电路测量所述温度依赖性电阻，并且当所述温度依赖性电阻达到表示所述接触探针接近或接触所述测试样品的发生的第一阈值时停止所述探针。

2.根据权利要求1所述的方法，所述探针具有以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸的第二悬臂。

3.根据权利要求1或2所述的方法，包括通过测量跨所述温度依赖性电阻的电压降来测量所述温度依赖性电阻。

4.根据权利要求1或2所述的方法，所述探针具有以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸的第二热探测器。

5.根据权利要求1或2所述的方法，所述第一热探测器相对于所述探针主体限定回路。

6.根据权利要求1或2所述的方法，包括提供加热器或冷却器，用于建立所述电导体与所述测试样品之间的所述温差。

7.根据权利要求1或2所述的方法，所述电流具有使得所述电导体被加热到高于室温的温度的振幅。

8.一种用于测试测试样品的电气性能的系统，所述系统包括：具有限定用于支撑第一悬臂的平坦表面的探针主体的探针，和第一热探测器，

-所述第一悬臂在所述平坦表面支撑的第一近端与与所述第一近端相对的第一远端之间以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸，

所述第一悬臂具有支撑第一接触探针的悬臂表面，

-所述第一热探测器在所述平坦表面支撑的第二近端与与所述第二近端相对的第二远端之间以相对于所述平坦表面共面的关系从所述探针主体延伸，所述第一热探测器具有支撑具有温度依赖性电阻的电导体的探测器表面，以及支撑所述第一热探测器和所述第一接触探针的膜，其中所述第一热探测器的远端距所述膜的顶部边缘有第一距离，且所述第一接触探针的远端延伸到所述膜的所述顶部边缘，以及

所述系统进一步包括：

用于在所述电导体与所述测试样品之间建立温差的加热器或冷却器，

与所述电导体互连的电源，用于在所述温度依赖性电导体中注入电流，用于将所述探针移向所述测试样品的致动器，以及

与所述电导体互连的电子电路，用于测量所述温度依赖性电阻，并且将所述温度依赖性电阻与阈值进行比较。