[发明专利]封端单元

权利要求书

1.一种用于沉积系统的封端单元(300)，所述封端单元包括用于实现功能的设备(100)，所述设备包括：

至少一个包括电工钢的部件(110)，

其中所述设备是包括定子(320)和转子(310)的电马达，并且其中定子(320)和/或转子(310)与所述至少一个包括电工钢的部件(110)对应，并且其中所述马达被配置为使得可以向所述马达施加电流，从而产生贡献磁场，所述贡献磁场产生定子和转子之间的扭力，使得所述马达被安装时可以旋转靶(350)，以及

其特征在于所述设备(100)包括电流传输装置(140)，所述电流传输装置(140)被配置为使得所述电流传输装置穿过所述至少一个包括电工钢的部件(110)的圆周，并且所述电流传输装置被配置为当其被安装在封端单元上时向靶传输功率，

并且其中所述设备包括至少一个导电屏蔽元件(120)，其被配置为使得

-如果电流要被施加到产生对设备的功能没有贡献的非贡献磁场的所述电流传输装置，通过所述至少一个导电屏蔽元件(120)的电流产生抵消所述非贡献磁场的磁场。

2.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个导电屏蔽元件被配置为使得

当要施加相邻的变化电流时，该相邻的变化电流产生通过电工钢的对设备的功能没有贡献的变化的非贡献磁场，

则该相邻的变化的非贡献磁场产生通过所述至少一个导电屏蔽元件的净磁通量，

并且该相邻的变化电流产生通过所述至少一个导电屏蔽元件的电流，该电流产生在所述至少一个包括电工钢的部件(110)中抵消非贡献磁场的磁场。

3.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个包括电工钢的部件(110)适于引导对所述设备(100)的功能有贡献的贡献磁场，其中所述至少一个导电屏蔽元件被定位成使得基本上没有通过所述至少一个导电屏蔽元件的净磁通量源自于所述贡献磁场。

4.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述电流传输装置(140)被配置为使得所述电流传输装置的返回路径在所述至少一个包括电工钢的部件(110)的外部。

5.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个包括电工钢的部件(110)具有环形形状，并且其中所述至少一个导电屏蔽元件是在所述至少一个包括电工钢的部件周围基本上环形缠绕的屏蔽绕组。

6.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个导电屏蔽元件是短路的屏蔽绕组(120)。

7.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个导电屏蔽元件是通过阻抗加载的屏蔽绕组。

8.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述至少一个导电屏蔽元件陷入和/或嵌入在所述至少一个包括电工钢的部件中。

9.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述设备(100)包括用于产生旋转运动的驱动装置。

10.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述设备(100)包括轴承装置。

11.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述设备(100)包括密封装置。

12.根据权利要求1所述的封端单元(300)，其中所述电流传输装置(140)包括穿过所述设备的中心轴。

13.根据权利要求1所述的封端单元(300)，所述设备包括控制器，所述控制器适于施加通过所述至少一个导电屏蔽元件(120)的DC电流以产生非贡献磁场。