[发明专利]井下微电子器件的封装在审
申请号: | 201880070826.1 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN111386602A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 阿列克谢·里德曼;沈珍珍 | 申请(专利权)人: | 贝克休斯控股有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/29 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 井下 微电子 器件 封装 | ||
1.一种封装电子组件(10)的方法,所述方法的特征在于:
将多个非导电颗粒(17,27,37)设置在承载所述电子组件(10)的一个或多个部件的衬底(14,24,34,44,54)上;
将蒸汽形式的反应性聚对二甲苯单体引入所述多个非导电颗粒(17,27,37)之间的间隙空间中;以及
在所述非导电颗粒(17,27,37)的间隙空间中由所述反应性聚对二甲苯单体形成聚对二甲苯粘合剂(18,28,38),
其中任选地,所述非导电颗粒(17,27,37)具有根据ASTM D1829在23℃下测定的大于1012Ω*cm的电阻率。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述非导电颗粒(17,27,37)包含六方氮化硼,氮化硅,或包含上述中的至少一者的组合。
3.根据权利要求1所述的方法,其中所述非导电颗粒(17,27,37)具有不规则形状。
4.根据权利要求1所述的方法,其中所述非导电颗粒(17,27,37)包含具有第一规则形状和第一平均直径的第一颗粒的第一粉末,以及具有第二规则形状和第二平均直径的第二颗粒的第二粉末,或它们的组合,其中所述第一规则形状不同于所述第二规则形状,所述第一平均直径不同于所述第二平均直径。
5.根据权利要求1所述的方法,其中所述非导电颗粒(17,27,37)相对于所述聚对二甲苯粘合剂(18,28,38)的体积比为约70∶30至约99.99∶0.01。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征还在于将散热器(11)设置在由所述非导电颗粒(17,27,37)和所述聚对二甲苯粘合剂(18,28,38)形成的密封结构(17,19,20,30,49)上。
7.一种封装电子组件(10),其特征在于:
刚性或柔性衬底(14,24,34,44,54);
一个或多个部件,所述一个或多个部件设置在所述衬底(14,24,34,44,54)上;
密封结构(17,19,20,30,49),所述密封结构包含多个非导电颗粒(17,27,37)和聚对二甲苯粘合剂(18,28,38),所述聚对二甲苯粘合剂将所述多个非导电颗粒(17,27,37)彼此锁定,锁定到所述衬底(14,24,34,44,54)以及锁定到设置在所述衬底(14,24,34,44,54)上的所述一种或多种部件;
任选地,其中所述一个或多个部件包含引线键合(15)、芯片(16)、表面(41)贴装设备(SMD)、感测设备、通过添加制造产生的导电和隔离结构,或包括上述中的至少一者的组合。
8.根据权利要求7所述的封装电子组件(10),其中所述非导电颗粒(17,27,37)形成连续网络。
9.根据权利要求7所述的封装电子组件(10),其中
所述非导电颗粒(17,27,37)包含六方氮化硼,氮化硅,或包含上述中的至少一者的组合;
所述聚对二甲苯粘合剂(18,28,38)包含氟化聚对二甲苯;并且
所述非导电颗粒(17,27,37)相对于所述聚对二甲苯粘合剂(18,28,38)的体积比为约70∶30至约99.99∶0.01。
10.根据权利要求7所述的封装电子组件(10),其特征还在于设置在所述密封结构(17,19,20,30,49)上的与所述衬底(14,24,34,44,54)相对的散热器(11);封装基座(12,42);设置在所述封装基座(12,42)上的所述衬底(14,24,34,44,54);或它们的组合。
11.根据权利要求10所述的封装电子组件(10),其中所述散热器(11)联接到所述封装基座(12,42)。
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