[发明专利]化学反应器

权利要求书

1.一种用于生产基于流体流的化学反应器装置的方法，所述方法包括：

-获得具有由通道壁限定的流体通道的基材，其中，有序的硅柱结构组位于流体通道中；

-至少使硅柱结构进行电化学阳极化，以使硅柱结构至少多孔至一定深度，

-在阳极化后，对基材和柱结构进行热处理和官能化以调节基材和/或柱结构上的至少部分硅烷醇基，

其中，热处理以一定温度和持续时间在一定气氛中进行，以使所形成的硅氧化物层的厚度小于20nm。

2.如权利要求1所述的方法，其中，官能化包括：使得基材或柱结构上的至少部分硅烷醇基硅烷化。

3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，使热步骤和官能化适合于，以在液相色谱分析中的化学反应器中，以1μl的注射体积和1000nl/分钟的流动速率，在30分钟内流动相B的1％至50％的梯度下，将肽浓度为0.25ppm的包含血管紧张素II(Angiotensin II)的标准混合物合物引入到第一流动相A和第二流动相B的混合物中，在色谱图中获得宽度小于0.2分钟的血管紧张素峰，第一流动相A由0.05％甲酸和99.95％水组成，第二流动相B由在1/5水和4/5ACN中的0.05％甲酸组成。

4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，热处理包括氧化步骤，其在650℃至850℃的温度下、例如750℃下持续4小时至20小时、例如10小时至20小时、例如15小时。

5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，热处理还包括快速热步骤。

6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，快速热步骤包括在700℃至900℃、例如800℃的温度下持续5分钟至30分钟的热处理。

7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在热处理之前进行一个或多个预处理步骤。

8.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，一个或多个预处理步骤基于用酸进行的处理。

9.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，一个或多个预处理步骤包括用HNO₃进行的处理。

10.如前述权利要求中任一项所述的方法，预处理步骤包括：

-在浓度高于95％、例如99％的HNO₃中进行3至7分钟、例如5分钟时间的两个预处理步骤；以及

-在浓度为60％至80％、例如69％的HNO₃中，在85℃至105℃、例如95℃的温度下进行8分钟至15分钟、例如10分钟时间的一个预处理步骤。

11.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，电化学阳极化包括以下步骤：

-将基材安装在阳极化体系中；

-添加在其中发生阳极化的溶液；以及

-施加电场用于阳极化。

12.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，阳极化在0.1V至5V、例如在1.2V的感应电压下进行1分钟至60分钟、例如5分钟至20分钟，如10分钟时间。

13.如权利要求11至12中任一项所述的方法，其中，阳极化在0.01mA/cm²至100mA/cm²、例如0.1mA/cm²至5mA/cm²的感应电流密度下进行5分钟至60分钟、例如15分钟至45分钟时间。

14.如权利要求11至13中任一项所述的方法，其中，阳极化用与时间成比例的递减电流来完成。

15.如权利要求11至14中任一项所述的方法，其中，溶液包括HF。