[发明专利]光学反射元件

说明书

光学反射元件具备：反射光的反射部、与反射部连结的第一连接部、与第一连接部连结的第一和第二传递部、与第一和第二传递部的基端部分别连结的第一和第二振动部、与第一和第二振动部的前端部分别连结的第一和第二驱动部、基部、和将第一和第二振动部相对于基部可振动地连接于基部的第二连接部。该光学反射元件能够高效地将振动部的振动转换为反射部的旋转摆动，具有良好的偏转角特性。

技术领域

本发明涉及通过反射来使光的照射位置往复运动的光学反射元件。

背景技术

专利文献1公开了使激光的照射位置往复运动的现有的光学反射元件。该光学反射元件具备：对激光进行反射的反射体；与该反射体连接的连接体；在与反射体的旋转轴交叉的方向延伸的两根臂状的振动体；和使这些振动体分别振动的驱动体。连接体通过自身被扭转来使反射体旋转摆动。振动体使连接体产生往复的扭转。驱动体具备使这些振动体分别振动的压电元件等。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009-244602号公报

发明内容

光学反射元件具备：对光进行反射的反射部；与反射部连结的第一连接部；与第一连接部连结的第一和第二传递部；与第一和第二传递部的基端部分别连结的第一和第二振动部；与第一和第二振动部的前端部分别连结的第一和第二驱动部；基部；以及将第一和第二振动部相对于基部可振动地连接于基部的第二连接部。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的光学反射元件的俯视图。

图2是实施方式1所涉及的光学反射元件的立体图。

图3是实施方式1所涉及的其他光学反射元件的俯视图。

图4是实施方式2所涉及的光学反射元件的俯视图。

图5是表示实施方式3所涉及的光学反射元件的俯视图。

具体实施方式

参照附图来说明本公开所涉及的光学反射元件的实施方式。另外，以下说明的实施方式均表示概括性或者具体性的例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、结构要素、结构要素的配置位置以及连接方式、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并不是限定本公开的主旨。此外，以下的实施方式中的结构要素之中，在表示最上位概念的独立权利要求中未记载的结构要素被说明为任意的结构要素。

此外，附图是为了表示本公开而适当地进行了强调、省略、比率的调整的示意性的附图，可能与实际的形状、位置关系、比率不同。

(实施方式1)

图1是实施方式1所涉及的光学反射元件100的俯视图。图2是实施方式1所涉及的光学反射元件100的立体图。

光学反射元件100将激光等光的反射角度周期性地变更从而周期性地扫描光的照射位置。光学反射元件100具备：反射部110、连接部121、122、传递部131、132、振动部141、142、驱动部151、152、基部161。在本实施方式中，反射部110的一部分、连接部、传递部、振动部的一部分、以及基部通过从一个基板去除不要部分而一体地成形。具体地，例如，使用半导体制造过程中使用的蚀刻技术来去除硅基板的不要部分并且反射部110的一部分、连接部、传递部、振动部的一部分、以及基部被一体地成形。光学反射元件100是所谓的MEMS(微机电系统，Micro Electro Mechanical Systems)。此外，光学反射元件100还具备监视器元件171、172。