[发明专利]用于处理衬底的方法和设备

权利要求书

1.一种处理衬底或制造经处理的衬底的方法，包括以下步骤：

a) 在第一压力的第一气氛中对衬底进行第一处理，从而造成具有第一温度的经第一处理的衬底；

b) 随后，在第二压力的第二气氛中对所述经第一处理的衬底进行第二处理，从而在所述经第一处理的衬底的第二温度下开始所述第二处理并且造成所述经处理的衬底，其中，所述第二温度不同于所述第一温度，并且所述第二压力低于所述第一压力；

c) 在步骤a)与b)之间，将所述经第一处理的衬底从所述第一气氛锁定到所述第二气氛中；

d) 在所述锁定期间，将所述经第一处理的衬底从所述第一温度朝向所述第二温度加热或冷却。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一温度高于所述第二温度。

3.根据权利要求1或2中的一项所述的方法，其特征在于，所述第一处理是脱气。

4.根据权利要求1至3中的一项所述的方法，其特征在于，所述第一压力是环境大气压力。

5.根据权利要求1至4中的一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括在所述第一处理与所述锁定之间执行所述经第一处理的衬底的运送。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法包括在环境大气压力和环境大气中的至少一个中执行所述运送的至少部分。

7.根据权利要求1至6中的一项所述的方法，其特征在于，所述第二压力是亚大气压力。

8.根据权利要求1至7中的一项所述的方法，其特征在于，压力在所述锁定期间以压力降低速率降低，并且所述方法包括在所述锁定期间提供热交换时间跨度，其中，在所述热交换时间跨度期间，与所述热交换时间跨度之前和之后中的至少一个的所述压力降低速率相比，至少沿着所述经第一处理的衬底的一个延伸表面侧，所述压力降低速率降低。

9.根据权利要求1至8中的一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括在所述锁定期间建立所述衬底和加热或冷却表面的至少部分接触。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述至少部分接触是在所述锁定期间所述衬底和加热或冷却表面的表面与表面的接触。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，通过将所述衬底偏压到所述加热或冷却表面上来建立所述接触。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，通过以机械方式和以静电方式中的至少一种来执行所述偏压。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，借助于压紧装置来以机械方式执行偏压。

14.根据权利要求11至13中的一项所述的方法，其特征在于，所述偏压包括通过以下方式在所述衬底的面向所述加热或冷却表面的表面与所述衬底的所述表面的剩余部分之间建立压差(∆p_ab)：在接触区域处施加与所述衬底的所述表面的所述剩余部分所暴露于的主导压力(p_b)相比而更低的压力(p_a)。

15. 根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述压差∆p_ab被选择为至少300 Pa，或者在300 Pa ≤ ∆p_ab ≤ 100000 Pa的范围中，或者在500 Pa ≤ ∆p_ab ≤ 10000 Pa的范围中。