[发明专利]低剂量带电粒子量测系统

权利要求书

1.一种量测系统，包括：

带电粒子束装置，被配置成产生带电粒子束；以及

控制器，被配置成：

基于所述带电粒子束获取样品的一个或多个图像，并且将所述一个或多个图像存储在存储装置中；

获取与所述样品的特征的第一实例相关联的第一多个测量结果；

获取与所述样品的所述特征的第二实例相关联的第二多个测量结果，所述第二实例与所述第一实例位于所述样品上的分离位置处；以及

基于所述第一多个测量结果和所述第二多个测量结果来确定表示所述特征的参数的组合的测量结果。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一实例和所述第二实例相同。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述组合的测量结果是所述特征的临界尺寸。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述组合的测量结果的精确度小于或等于0.1nm。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述组合的测量结果包括所述第一多个测量结果中的每个测量结果与所述第二多个测量结果中的每个测量结果的平均值。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像包括多个图像，并且所述控制器被配置成在不移动保持所述样品的样品台的情况下获取所述一个或多个图像。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述带电粒子束被设置为小于或等于250pA的电流。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像包括分离地存储在所述存储装置中的多个图像，所述多个图像中的第一图像包括所述第一实例，并且所述多个图像中的第二图像包括所述第二实例。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像是存储在所述存储装置中的单个图像，并且所述控制器被配置成将所述单个图像划分为多个区域，所述多个区域中的第一区域包括所述第一实例，并且所述多个区域中的第二区域包括所述第二实例。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像的帧的数目小于或等于四。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像的帧的数目小于或等于二。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个图像的帧的数目为一。

13.一种量测方法，包括：

产生带电粒子束；

通过利用所述带电粒子束辐射样品的第一成像区域来产生第一成像信号；

通过利用所述带电粒子束辐射所述样品的第二成像区域来产生第二成像信号，所述第二成像区域与所述第一成像区域位于所述样品上的分离位置处；

获取与所述第一成像区域中的特征的第一实例相关联的第一多个测量结果；

获取与所述第二成像区域中的所述特征的第二实例相关联的第二多个测量结果；以及

基于所述第一多个测量结果和所述第二多个测量结果来确定表示所述特征的参数的组合的测量结果。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述第一实例和所述第二实例相同，其中所述组合的测量结果是所述特征的临界尺寸，并且其中所述组合的测量结果包括所述第一多个测量结果中的每个测量结果与所述第二多个测量结果中的每个测量结果的平均值。

15.一种非暂态计算机可读介质，包括指令集，所述指令集能够由装置的一个或多个处理器执行，以使得所述装置执行方法，所述方法包括：

产生带电粒子束；

通过利用所述带电粒子束辐射样品的第一成像区域来产生第一成像信号；

通过利用所述带电粒子束辐射所述样品的第二成像区域来产生第二成像信号，所述第二成像区域与所述第一成像区域位于所述样品上的分离位置处；

获取与所述第一成像区域中的特征的第一实例相关联的第一多个测量结果；

获取与所述第二成像区域中的所述特征的第二实例相关联的第二多个测量结果；以及

基于所述第一多个测量结果和所述第二多个测量结果来确定表示所述特征的参数的组合的测量结果。