[发明专利]流化床式反应装置

权利要求书

1.一种流化床式反应装置，用于使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷，其特征在于，

在所述流化床式反应装置所具备的反应容器的外表面具备多个用于测定所述反应容器的内部温度的温度测定部。

2.根据权利要求1所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述温度测定部设置在位于所述反应容器的下部所具备的气体供给口附近的反应容器的外表面。

3.根据权利要求2所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述温度测定部遍及所述反应容器的所述外表面的整周设置。

4.根据权利要求2或3所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述流化床式反应装置在所述反应容器的内部且在所述气体供给口的上部设置有热介质管，

所述温度测定部设置在未设置所述热介质管的区域。

5.根据权利要求4所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述温度测定部还设置在设置有所述热介质管的区域。

6.一种三氯硅烷的制造方法，其中，使金属硅粉与氯化氢气体反应而制造三氯硅烷，其特征在于，具有

从流化床式反应装置所具备的反应容器的外部测定所述反应容器的内部温度的温度测定工序。

7.根据权利要求6所述的三氯硅烷的制造方法，其特征在于，还具有基于所述温度测定工序的结果控制氯化氢气体的供给量的控制工序。