[发明专利]微机械压力传感器设备和相应的制造方法

权利要求书

1.微机械压力传感器设备，该微机械压力传感器设备具有：

第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；

布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用在该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；

第二膜片(9；9’；9”)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5；5’；5”)；和

布置在所述第二膜片(9；9’；9”)中和/或上的第二弯曲感测装置(11；11’；11”)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9；9’；9”)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；

其中，所述第二膜片(9；9’；9”)构型成，使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲，其中，所述第一膜片(3)是闭合的并且所述第二膜片具有贯通开口，所述贯通开口与所述第二腔流体连通。

2.根据权利要求1所述的微机械压力传感器设备，其中，所述第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的所述第一腔(4)形成在第一微机械功能层(2)中，并且，其中，所述第二膜片(9；9’)形成在第二微机械功能层(7)中，该第二微机械功能层与所述第一微机械功能层(2)间隔开地布置。

3.根据权利要求2所述的微机械压力传感器设备，其中，所述第二微机械功能层(7)布置在所述第一微机械功能层(2)的所述第一膜片(3)的一侧上，其中，所述第一膜片(3)是闭合的，其中，所述第二膜片(9)具有贯通开口(10)，并且，其中，所述第二腔(5)布置在所述第一膜片(3)和所述第二膜片(9)之间并且与所述贯通开口(10)流体连通。

4.根据权利要求2或3所述的微机械压力传感器设备，其中，在所述第二微机械功能层(7)和所述第一微机械功能层(2)之间布置有间距保持器层(8；8’)。

5.根据权利要求2所述的微机械压力传感器设备，其中，所述第一腔(4)在所述第一微机械功能层(2)的与所述第一膜片(3)相对置的一侧上通过封闭层(1)封闭，其中，所述第二微机械功能层(7’)布置在所述封闭层(1)上，其中，所述第一膜片(3)是闭合的，其中，所述第二膜片(9’)具有贯通开口(10’)，并且，其中，所述第二腔(5)布置在所述第二膜片(9’)和所述封闭层(1)之间并且与所述贯通开口(10)流体连通。

6.根据权利要求5所述的微机械压力传感器设备，其中，所述封闭层具有第二贯通开口(12)。

7.根据权利要求1所述的微机械压力传感器设备，其中，所述第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的所述第一腔(4)形成在第一微机械功能层(2)中，其中，所述第二膜片(9”)和邻接到该第二膜片上的所述第二腔(5”)在所述第一微机械功能层(2)中与所述第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的所述第一腔(4)在横向上间隔开地形成，并且，其中，所述第一腔(4)和所述第二腔(5”)在所述第一微机械功能层(2)的与所述第一膜片(3)和所述第二膜片(5”)相对置的一侧上是封闭的。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械压力传感器设备，其中，所述第一弯曲感测装置(6)和/或所述第二弯曲感测装置(11；11’；11”)具有一个或多个压阻元件。

9.用于制造微机械压力传感器设备的方法，所述方法具有以下步骤：

形成第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；

形成布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用到该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；

形成第二膜片(9；9’；9”)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5；5’；5”)；并且，

形成布置在所述第二膜片(9；9’；9”)中和/或上的第二弯曲感测装置(11；11’；11”)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9；9’；9”)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；

其中，所述第二膜片(9；9’；9”)构型为使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲，其中，所述第一膜片(3)是闭合的并且所述第二膜片具有贯通开口，所述第二腔与所述贯通开口流体连通。