[发明专利]用于大型偏移裸片对裸片检验的多步骤图像对准方法

权利要求书

1.一种用于获得对准裸片对裸片检验图像的方法，其包括：

在处理器处接收参考图像，所述参考图像包括数个像素行及列；

使用所述处理器来从所述参考图像选择第一局部区段；

在所述处理器处接收测试图像，所述测试图像包括数个像素行及列；

使用所述处理器来从所述测试图像选择第二局部区段；

使用所述处理器来从所述第一局部区段及所述第二局部区段确定估计旋转偏移及估计平移偏移；

使用所述处理器来执行包括测试图像去歪斜的粗略对准以借此产生部分对准测试图像；及

对所述部分对准测试图像执行包括分区平移的精细对准以获得对准裸片对裸片检验图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述测试图像去歪斜包括：

使用所述处理器来确定所述测试图像的歪斜角；及

使用所述处理器来使所述测试图像去歪斜。

3.根据权利要求2所述的方法，其中通过执行来自所述参考图像的所述第一局部区段与来自所述测试图像的所述第二局部区段的歪斜比较来确定所述测试图像的所述歪斜角。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述歪斜比较包括：

使用所述处理器来对来自所述参考图像的所述第一局部区段执行快速傅里叶变换以获得参考场景函数；

使用所述处理器来对来自所述测试图像的所述第二局部区段执行快速傅里叶变换以获得测试场景函数；及

使用所述处理器来比较所述测试场景函数与所述参考场景函数以确定所述歪斜角。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述歪斜比较包括：执行所述测试图像中的一或多个显著特征的图案辨识以确定所述歪斜角。

6.根据权利要求3所述的方法，其中使用机器学习模块来执行所述歪斜比较以确定所述歪斜角。

7.根据权利要求2所述的方法，其中使所述测试图像去歪斜包括：

使用所述处理器来基于所述歪斜角而针对所述测试图像中的所述像素中的每一者确定列移位向量及行移位向量，其中

所述列移位向量包括与含有所述像素的列共线移位的一定数量像素及方向，且

所述行移位向量包括与含有所述像素的很难过共线移位的一定数量像素及方向；及

使用所述处理器来使所述像素中的每一者根据其列移位向量及行移位向量来移位。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述分区平移包括：

使用所述处理器来将所述参考图像分割成至少一个参考图像子区段；

使用所述处理器来将所述测试图像分割成至少一个测试图像子区段；及

使用所述处理器来使所述测试图像子区段平移以与对应于所述测试图像子区段的所述参考图像子区段对准。

9.一种非暂时性计算机可读存储媒体，其包括用于在一或多个计算装置上执行以下步骤的一或多个程序：

接收参考图像，所述参考图像包括数个像素行及列；

从所述参考图像选择第一局部区段；

接收测试图像，所述测试图像包括数个像素行及列；

从所述测试图像选择第二局部区段；

从所述第一局部区段及所述第二局部区段确定估计旋转偏移及估计平移偏移；

对所述测试图像执行包括测试图像去歪斜的粗略对准以借此产生部分对准测试图像；及

对所述部分对准测试图像执行包括分区平移的精细对准以获得对准裸片对裸片检验图像。