[发明专利]树脂部件

说明书

提供能够抑制因反复弯曲所导致的颗粒的产生的树脂部件。由树脂部件形成的滚动隔膜5，其一面设为液体接触面37a，反复弯曲地被使用且具有可挠性，所述弯曲部分371的液体接触面37a的表面粗糙度设为算术平均粗糙度小于0.40μm；所述弯曲部分371的所述液体接触面37a的全光线反射率设为2.0％以上。

技术领域

本发明涉及树脂部件。

背景技术

例如，在半导体、液晶、有机EL、太阳能电池等的制造工序中，在涂布或者调配药液时所用的泵或者阀中，由可挠性树脂部件形成的隔膜或者波纹管等被作为其驱动时反复弯曲的部件而使用(例如，参照专利文献1及专利文献2的图14)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭61-197779号公报

专利文献2：日本特开2011-117322号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在使上述由树脂部件形成的隔膜等反复弯曲的情况下，由于其经时老化，存在从隔膜等的液体接触面产生颗粒(微小的碎屑)的情况。这种情况下，由于和药液一起被输送的颗粒被涂布到晶圆等，可能会产生制造不良等的问题。

本发明针对这种情况，其目的是，提供一种树脂部件，能够抑制由于反复弯曲所导致的颗粒的产生。

用于解决课题的手段

(1)本发明的树脂部件，是一面设为液体接触面，反复弯曲地被使用且具有可挠性的树脂部件，所述弯曲部分的所述液体接触面的表面粗糙度设为算术平均粗糙度小于0.40μm；所述弯曲部分的所述液体接触面的全光线反射率设为2.0％以上。

本申请的发明人反复进行锐意研究的结果，通过使树脂部件的所述弯曲部分的液体接触面的表面粗糙度变小，并且使所述弯曲部分的液体接触面的全光线反射率变大，发现能够有效地抑制颗粒的产生，根据这样的见解完成了上述(1)的发明。由此，能够抑制由于树脂部件的反复弯曲所导致的颗粒的产生。

(2)优选地，在所述树脂部件中，所述弯曲部分的所述液体接触面的剖面形状为凹部以及凸部交替地连续的形状；所述凹部由凹曲面形成。

这种情况下，在所述弯曲部分的液体接触面的剖面形状中，由于所述凹部没有形成平坦面，因此所述凹部的个数变多。其结果是，由于能够有效地使所述弯曲部分的液体接触面的表面粗糙度变小，并且有效地使所述弯曲部分的液体接触面的全光线反射率变大，因此能够进一步有效地抑制因树脂部件的反复弯曲所导致的颗粒的产生。

另外，由于所述凹部由凹曲面形成，因此相比于以往不容易产生由所述反复弯曲所导致的应力。由此，由于液体接触面在所述凹部彼此不容易摩擦，因此能够抑制颗粒从该凹部的液体接触面产生。

(3)优选地，在所述树脂部件中，所述弯曲部分的所述液体接触面的剖面形状为凹部以及凸部交替地连续的形状；所述凸部的远端尖锐地形成。

这种情况下，在所述弯曲部分的液体接触面的剖面形状中，由于所述凸部没有形成平坦面，因此所述凸部的个数变多。其结果是，由于能够有效地使所述弯曲部分的液体接触面的表面粗糙度变小，并且有效地使所述弯曲部分的液体接触面的全光线反射率变大，因此能够进一步有效地抑制因树脂部件的反复弯曲所导致的颗粒的产生。

另外，由于所述凸部的远端尖锐地形成，因此不容易产生所述反复弯曲导致的应力。由此，由于液体接触面在所述凸部彼此不容易摩擦，因此能够抑制颗粒从该凸部的液体接触面产生。

发明效果

根据本发明的树脂部件，能够抑制由于反复弯曲所导致的颗粒的产生。

附图说明