[发明专利]无规共聚物和包含其的钉扎组合物

说明书

本申请涉及钉扎组合物、包含其的层合体及其生产方法。本申请的钉扎组合物可以赋予包含嵌段共聚物的自组装结构的聚合物膜定向性和定位选择特性。本申请的钉扎组合物表现出优异的反应选择性，由此其可以形成具有高配向程度的垂直层状体结构。此外，本申请的钉扎组合物可以适合于应用于低温过程。

技术领域

本申请要求于2017年10月27日提交的韩国专利申请第10-2017-0141006号的申请日的权益，其公开内容通过引用整体并入本文。

本申请涉及无规共聚物和包含其的钉扎组合物。

背景技术

在嵌段共聚物中，两个或更多个化学上不同的聚合物链通过共价键连接。嵌段共聚物由于自组装特性而可以分离成规则的微相。嵌段共聚物的这种微相分离现象通常通过成分间的体积分数、分子量或相互吸引系数(弗洛里-哈金斯(Flory-Huggins)相互作用参数)来解释。此外，嵌段共聚物可以形成多种纳米结构，例如纳米结构球体、圆柱体、螺旋体(gyroid)或层状体。

通常，由嵌段共聚物形成的膜中的纳米结构的取向根据构成嵌段共聚物的任何嵌段是否暴露于基础层的表面或空气来确定。即，纳米结构的取向可以通过构成嵌段共聚物的嵌段的选择性润湿来确定。通常，许多基础层具有极性，而空气具有非极性。因此，嵌段共聚物中具有较大极性的嵌段被润湿至基础层，而嵌段共聚物中具有较小极性的嵌段被润湿至与空气的界面，由此形成水平取向。此外，当嵌段共聚物的任一嵌段和任何其他嵌段均在基础层上被润湿时，形成垂直取向。垂直取向可以意指嵌段共聚物的任一嵌段与任何其他嵌段之间的界面垂直于基底。

在将嵌段共聚物的这种垂直或水平取向的自组装结构应用于实际过程时，特别是由垂直取向的自组装结构形成的图案的定向性和定位选择特性非常重要。为此，使用了使用诸如制图外延(grapho-epitaxy)或化学外延的方法在基底上赋予预图案的方法。

在此，化学外延法是在极性基础层上形成具有不同化学组成的图案(例如钉扎层)以诱导嵌段共聚物的自组装结构的取向的方法。然而，典型的钉扎层在其形成过程期间不仅同时与基础层反应而且还与中性层反应。当钉扎层和中性层反应时，可能导致嵌段共聚物的垂直取向上的缺陷。因此，为了抑制与中性层的反应，已经尝试在低温例如低于130℃的温度下形成钉扎层的方法。然而，存在的问题在于典型的钉扎层在低温下(例如，在低于130℃的温度下)不可以充分地结合至基础层。

发明内容

技术问题

本申请的一个目的是提供无规共聚物和包含其的钉扎组合物。

技术方案

在本申请中，除非另有说明，否则术语“一价或二价烃基”可以意指衍生自由碳和氢组成的化合物或其衍生物的一价或二价残基。在此，由碳和氢组成的化合物可以例示为烷烃、烯烃、炔烃、或芳族烃。

在本申请中，除非另有说明，否则术语“烷基”可以意指具有1至20个碳原子、1至16个碳原子、1至12个碳原子、1至8个碳原子或1至4个碳原子的烷基。烷基可以为线性、支化或环状的烷基，其可以任选地被一个或更多个取代基取代。

在本申请中，除非另有说明，否则术语“烷氧基”可以意指具有1至20个碳原子、1至16个碳原子、1至12个碳原子、1至8个碳原子、1至4个碳原子或1至2个碳原子的烷氧基。烷氧基可以为线性、支化或环状的烷氧基，其可以任选地被一个或更多个取代基取代。

在本申请中，除非另有说明，否则术语“烯基”或“炔基”意指具有2至20个碳原子、2至16个碳原子、2至12个碳原子、2至8个碳原子或2至4个碳原子的烯基或炔基。烯基或炔基可以为线性、支化或环状的，其可以任选地被一个或更多个取代基取代。