[发明专利]面向特定检查的辅助系统、面向特定检查的辅助方法和程序

说明书

提高使用电子显微镜的特定检查的精度，提高作业效率。系统根据检查试样的属性信息确定与检查对象物对应的检查配方信息，通过按照该检查配方信息的控制程序由测量装置取得的图像数据以及元素分析数据与成为检查对象物的评价基准的基准图像数据以及基准元素分析数据的对照，进行检查试样的检查对象物的分析评价。

技术领域

本发明涉及对使用电子显微镜等分析设备的特定检查进行辅助的面向特定检查的辅助系统、面向特定检查的辅助方法和程序。

背景技术

以前，在物理学、化学、工程学、生物学、医学等各种领域，已知利用电子显微镜的试样的检查(以下也称为“特定检查”)。作为电子显微镜，例如例示了扫描型电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)、透射型电子显微镜(TEM：Transmission ElectronMicroscope)、扫描型等效电子显微镜(STEM：Scanning Transmission ElectronMicroscope)等。在光学显微镜中，主要将可见光线用于观察试样的形状，与此相对，在电子显微镜中，将波长比可见光线短的电子束用于观察试样的形状。因此，在使用电子显微镜的检查中，与使用光学显微镜的检查相比，能够根据高分辨率的拍摄图像观察试样的形状，例如能够确定在光学显微镜中难以观察的试样中包含的病毒等纳米单位的细微构造。

在电子显微镜中，作为配套设备，例如组合有能量色散型X射线分析装置(EDX：Energy Dispersive X-ray spectrometry)。能量色散型X射线分析装置(以下也称为“EDX”)是根据由于照射到试样的分析对象区域的电子束而产生的特征X射线来确定试样中包含的元素的装置。通过将EDX组合到电子显微镜中，能够根据高分辨率的拍摄图像对检查对象物(有害物、异物、细菌等)进行定性分析、以及根据特征X射线的强度分布进行定量分析，提高特定检查的检查精度。

通过使用电子显微镜进行的试样的定性分析、定量分析，例如能够进行在半导体芯片、晶圆等的制造过程中混入的异物等的评价检查。另外，例如能够进行从拆除现场等采集到的建材等试样中包含的有害物(例如石棉等)的评价检查、从医疗现场采集到的细胞等试样中包含的组织等的评价检查。

此外，作为记载了与本说明书中说明的技术相关联的技术的现有技术文献，存在以下的专利文献。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-156410号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述特定检查中，有时通过操作电子显微镜的检查者的目视，根据拍摄到的高分辨率的拍摄图像观察试样的形状。例如，是检查试样中包含的检查对象物的情况。

在上述情况下，检查者例如操作电子显微镜提高观测倍率来选定高分辨率拍摄到的试样的拍摄图像(整体影像)中的成为观察对象的区域。检查者对上述区域通过目视进行形状观察，检查拍摄出与检查对象物类似的形状的观察位置。然后，检查者根据在检测出的观察位置的通过EDX测量出的特征X射线的强度分布，确定在观察位置拍摄出的形状是检查对象物。

在上述情况下，针对高分辨率拍摄到的试样的整体影像，提高观测倍率来重复进行观察对象的区域选定、基于目视的形状观察、基于EDX的测量值的检查对象物的确定。因此，在经由检查者的目视进行特定检查的情况下，从高分辨率拍摄到的试样的整体影像中确定检查对象物的作业耗费时间。另外，在基于目视的形状观察中，操作电子显微镜的检查者的作业负担重，因此例如有可能发生拍摄图像内存在的检查对象物的遗漏、错误检测等。

与检查作业相关的时间的增加例如有可能造成使用电子显微镜的特定检查的检查成本的增加、包含电子显微镜在内的特定检查的检查设备的运转率的降低。