[发明专利]在陶瓷基底上的压力传感器

权利要求书

1. 用于确定相对压力或绝对压力的压力传感器，包括

- 壳体(GH)，包括壳体壁(GW)，在该壳体中布置有

- 传感元件(SE)

- 陶瓷基底(KS)，该陶瓷基底用作所述传感元件及其电气接口的衬底，以及

- 加热元件(H,A-G)，该加热元件布置在所述壳体或所述壳体壁(GW)的内部中。

2.根据前述权利要求所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)在位置A(A)中布置在所述陶瓷基底(KS)上或在位置B(B)中布置在所述陶瓷基底(KS)中。

3.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，对于所述压力传感器而言，所述加热元件(H,A-G)在位置C(C)处布置在所述壳体(GH)的内壁处或在位置D(D)处布置在所述壳体壁(GW)中。

4.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述传感元件如此地布置在所述陶瓷基底(KS)上，即仅所述传感元件的上侧(OS)可加载有压力且仅绝对压力可被测量。

5.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述陶瓷基底具有通道(DL)，其中所述传感元件如此地布置在所述通道中，即使得从所述传感元件的上侧和下侧(US)的独立的介质接近是可行的，从而使得相对压力可被测量。

6.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，带有传感元件，该传感元件在所述上侧上具有膜片(MS)，

带有在所述陶瓷基底上的上部敞开的凝胶界限(GB)，

带有凝胶填充物(GF)，其被注入到所述凝胶界限中且覆盖所述膜片，

其中所述凝胶填充物(GF)用作所述膜片(MS)的保护。

7.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)布置在所述凝胶界限上(位置G)，所述凝胶界限对所述凝胶定界。

8.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)包括可导电的塑料。

9.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)包括电阻元件，该电阻元件具有正的温度系数。

10.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)集成在所述壳体壁的部分中(D)且适合用于产生微波辐射。

11.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)具有与所述压力传感器分离的供电。

12.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述传感元件构造成MEMS构件。

13.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，带有另外的加热元件(H,A-G)，该另外的加热元件布置在与第一加热元件(H,A-G)不同的位置处且满足权利要求2至8中任一项。

14.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，所述压力传感器构造成用于在机动车中的发动机冷启动的情形中测量压力，其中所述加热元件(H,A-G)构造成用于将所述压力传感器(DS)加热到规定的运行温度上，在该规定的运行温度中可实现第一压力测量。

15.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器，其中，所述加热元件(H,A-G)构造成用于加热到在20°C与160°C之间的温度上。

16.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器在机动车中的使用。