[发明专利]研磨安装工具及组合件、磁性读写头滑块和数据存储装置

说明书

一种研磨安装工具和一种用于研磨一排磁头滑块的方法，所述方法涉及将所述排附连到研磨安装工具夹具，致动多个第一致动销中的每一个以将每一磁头滑块设定成研磨到相应元件目标条高，以及相应地同时进行研磨。所述方法可以进一步涉及致动多个第二致动销中的每一个以将每一磁头滑块设定成研磨到相应目标楔角，且相应地同时进行研磨。每一目标楔角可以通过将相应角度力施加到粘附到所述夹具和所述排的柔性弹性体来实现，其中可以通过将所述研磨安装工具的可旋转第一结构部件与第二结构部件互连的至少两个挠曲件施加这类角度力，其中所述挠曲件虚拟地相交在施加所述角度力所绕的旋转轴线处且限定所述旋转轴线。

技术领域

本发明的实施例通常可以涉及磁记录装置，且更特定来说，涉及控制长形条内的元件条高和楔角。

背景技术

硬盘驱动器(HDD)是非易失性存储装置，其容纳在保护性罩壳中，且将数字编码的数据存储在具有磁性表面的一个或多个圆盘上。当HDD在操作中时，每一磁记录盘都由主轴系统快速地旋转。使用由致动器定位在磁盘的特定位置上方的读写头从磁记录盘读取数据，并将数据写入到磁记录盘。读写头使用磁场以从磁记录盘的表面读取数据并将数据写入到所述表面。写头利用流过线圈的电力，其产生磁场。电脉冲以正负电流的不同模式发送到写头。写头的线圈中的电流跨越磁头与磁盘之间的间隙诱发磁场，所述磁场继而使记录介质上的较小区域磁化。

大批量磁性薄膜磁头滑块制造涉及在离散材料去除步骤中执行的高精度减材机械加工。滑块处理以由40,000或更多个装置组成的完整薄膜磁头晶片开始，且在所有装置被个体化且满足众多严格的规格时完成。每一个别装置最终都变成用于在自旋的磁盘上飞行的读写头(例如，垂直磁记录(PMR)头)。

增大面积密度(可以存储在磁盘表面的给定区域上的信息位数量的度量)是硬盘驱动器设计演进的一个始终存在的目标，且已带来减少记录一位信息所需的磁盘区域的各种手段的必要发展和实施。通常借助于机械加工和研磨来精确控制读头元件和写头元件的临界尺寸，并且这是制造的必要条件。继续重要的是磁头的读取和写入部分相对于彼此对准。为了获得最佳的产量、性能和稳定性，需要对读取器和/或写入器元件进行精确的尺寸控制。

例如，关于磁芯宽度(MCW)(以及磁擦除宽度(MEW)、磁写入宽度(MWW)、磁干扰宽度(MIW)和其它相关磁芯度量)的工艺改进将有益于面积密度，因为MCW有效地确定由写头记录的磁位宽度。此外，总体MCW西格玛(sigma)的单个最大贡献因素通常是“长形条内”西格玛。即使发展了制造工艺以产生具有尽可能接近系统所需MCW的MCW的读写头，但一些薄膜和其它制造工艺(例如，光刻、蚀刻、粗研磨、材料弹性等)经历的固有变化仍会使制造的每一读写头要实现所需MCW相当具有挑战性。

在这部分中描述的任何方法是可以实行的方法，但不一定在先前就已经想到或实行。因此，除非另外指示，否则不应假设在这部分中描述的任一方法仅凭借它们包含在这部分中就能够作为现有技术。

发明内容

本发明的实施例通常涉及用于研磨一排磁性读写头滑块的方法、根据此方法制成的读写头滑块、包括根据此方法制成的读写头滑块的数据存储装置，和用于执行这种方法的研磨安装工具。研磨方法涉及将一排(或“长形条”)滑块固定到研磨安装工具夹具，致动多个条高致动销中的每一个以将每一磁头滑块设定成研磨到相应目标条高，以及根据每一相应目标条高，同时研磨每一磁头滑块。实施例可以进一步涉及致动多个第二致动销中的每一个以将长形条的每一磁头滑块设定成研磨到相应目标楔角，且根据每一相应目标楔角，同时研磨每一磁头滑块。

实施例可以包含将相应角度研磨力施加到在每一致动销与对应磁头滑块之间的柔性弹性体，以将对应于角度研磨力的压力梯度传送到对应磁头滑块，以研磨到目标楔角。此外，角度研磨力可以通过将研磨安装工具的可旋转第一结构元件与研磨安装工具的第二结构元件互连的至少两个楔角挠曲件施加，其中挠曲件虚拟地相交在施加角度研磨力所绕的旋转轴线处且限定所述旋转轴线。