[发明专利]粘合薄膜

说明书

本发明提供一种粘合薄膜，其具备作为基材的树脂薄膜以及在该基材的至少一个面设置的粘合剂层。上述粘合薄膜含有激光吸收剂，所述激光吸收剂具有比热小于900J/kg·K且导热率小于200W/m·K的金属作为构成元素。上述粘合薄膜在波长900nm～1100nm的范围内的激光吸收率为20％以上。

技术领域

本发明涉及粘合薄膜。

本申请基于2017年9月27日申请的日本专利申请2017-187004而要求优先权，将其全部申请内容作为参考而援引至本说明书中。

背景技术

基于激光的加工技术被广泛用于各种材料的切断、开孔等。作为加工所使用的激光的代表例，可列举出二氧化碳激光。作为所述激光加工的一个方式，可示例出：预先将作为辅助材料的粘合片粘贴于工件，并对其照射激光而将工件与上述粘合薄膜一同进行激光加工的方式。例如，专利文献1记载了如下技术：向覆铜板的铜箔面压接辅助片的粘合面，从该辅助片的上方照射二氧化碳激光而对上述覆铜板进行开孔，由此提高孔可靠性、作业性等。

近年来，对于使用了短波长激光的加工技术的关注正在提高。例如，存在想要使用主波长为0.9μm～1.1μm左右的短波长激光代替二氧化碳激光(主波长为9.3μm～10.6μm左右)来进行激光加工的要求。通过使用短波长的激光，从而能够高效地对工件施加加工所需的能量。这从加工的提速、微细加工性的观点出发是有利的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开2004-235194号公报

专利文献2：日本专利申请公开2013-18963号公报

专利文献3：日本专利申请公开2013-18964号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，若将一直以来利用二氧化碳激光进行的工件加工所利用的粘合薄膜直接转用于利用主波长为二氧化碳激光的约1/10的短波长激光进行的工件加工，则存在加工的效率、精度不足的情况。

专利文献2、3公开了一种适合于利用主波长为1000nm～1100nm左右的短波长激光进行切断的用途的粘合薄膜。但是，以对粘贴于工件的粘合薄膜照射短波长激光而将工件与该粘合薄膜一同进行激光加工的方式使用的情况下，这些粘合薄膜尚存在改善的余地。例如，专利文献2的粘合薄膜虽然该粘合薄膜自身能够利用短波长激光良好地进行切断，但难以提高粘贴有上述粘合薄膜的工件的加工速度。此外，专利文献3的粘合薄膜存在如下情况：来自上述粘合薄膜的黑色污垢残留至加工后的工件而损害外观品质。

鉴于该情况，本发明的目的在于，提供能够粘贴于工件并利用主波长为900nm～1100nm的短波长激光对该工件高效地进行加工，且不易损害加工后的工件的外观品质的粘合薄膜。

用于解决问题的方案

根据该说明书，提供一种粘合薄膜，其具备作为基材的树脂薄膜以及在该基材的至少一个面设置的粘合剂层，上述粘合薄膜含有激光吸收剂，所述激光吸收剂具有比热小于900J/kg·K且导热率小于200W/m·K的金属作为构成元素。上述粘合薄膜在波长900nm～1100nm的范围内的激光吸收率为20％以上。需要说明的是，铝(Al)的比热为917J/kg·K，导热率为238W/m·K。