[发明专利]玻璃基板的切断装置、切断方法和存储介质

说明书

在通过照射光来切断玻璃基板的装置中，将该光高效地照射到玻璃基板上的希望形成切断线的部位。玻璃基板(G)的切断装置(100)具备光发生装置(1)和光扫描装置(3)。光发生装置(1)输出切断玻璃基板(G)的切断光(L)。光扫描装置(3)是使切断光(L)的光点(S)沿着玻璃基板(G)的切断方向往复移动的装置。光扫描装置(3)将切断光(L)的光点(S)的往复移动的范围限制在玻璃基板(G)的未形成切断线(C)的龟裂的未切断区域。

技术领域

本发明涉及玻璃基板的切断装置、切断方法、使计算机执行该切断方法的程序、以及存储该程序的存储介质。

背景技术

以往，已知如下的切断装置，其通过沿着玻璃基板的切断方向扫描激光而产生切断线，在该切断线上切断玻璃基板(专利文献1)。利用该装置，能够比较高速地切断较大的玻璃基板。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-224091号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述装置中，在切断玻璃基板时，仅使激光在玻璃基板上往复移动，没有进行与照射在玻璃基板上的激光相关的其他控制。例如，在上述装置中，无论是否在玻璃基板上形成了切断线，玻璃基板上的激光的扫描范围不变。其结果是，即使对于照射了充分的激光而形成了切断线的部位，也持续无谓地照射激光。

本发明的目的在于，在通过照射光来切断玻璃基板的装置中，将该光高效地照射到玻璃基板上的希望形成切断线的部位。

用于解决课题的手段

以下，作为用于解决课题的手段，对多个方式进行说明。这些方式可以根据需要任意组合。

本发明的一个方式的玻璃基板的切断装置具备光发生装置和光扫描装置。光发生装置输出切断玻璃基板的切断光。光扫描装置是使切断光的光点沿着玻璃基板的切断方向往复移动的装置。光扫描装置将切断光的光点的往复移动的范围限制在玻璃基板的未形成切断线的未切断区域。

在上述玻璃基板的切断装置中，光扫描装置将用于切断玻璃基板的切断光的光点在玻璃基板上的往复移动的范围限制在玻璃基板的未形成切断线的未切断区域。由此，能够仅对玻璃基板的应形成切断线的区域照射切断光。其结果是，能够将从光发生装置发生的切断光在不浪费该切断光的能量的情况下高效地照射到玻璃基板的应形成切断线的区域。

玻璃基板的切断装置还可以具备透镜装置。透镜装置调节切断光的光点在玻璃基板上的尺寸。由此，可将具有能够高效地形成切断线的最佳能量密度的切断光高效地照射到玻璃基板的应形成切断线的区域。

透镜装置也可以使玻璃基板上的切断光的光点的尺寸根据未切断区域在切断方向上的长度而发生变化。由此，可将具有能够高效地形成切断线的最佳能量密度的切断光高效地照射到玻璃基板的应形成切断线的区域。

透镜装置也可以随着未切断区域的切断方向上的长度变短而增大切断光的光点的尺寸，由此，能够抑制切断光以过剩的能量密度照射到切断方向上的长度变短的未切断区域。

玻璃基板的切断装置还可以具备光校正装置。光校正装置使切断光的光点向与切断方向垂直的校正方向移动。由此，通过使其移动方向偏离切断方向的切断光的光点向校正方向移动，能够使切断光的光点沿适当的切断方向往复移动。

光扫描装置也可以随着切断线的形成而缩小切断光的光点的往复移动的范围。由此，不会浪费切断光的能量，能够对未切断区域高效地照射切断光。

本发明的另一个方式的切断方法是，通过使切断玻璃基板的切断光的光点沿玻璃基板的切断方向往复移动，切断玻璃基板的方法。切断方法包括以下步骤。

◎输出切断光的步骤。