[发明专利]用于玻璃成型模具的涂层及包括涂层的模具

权利要求书

1.一种玻璃形成模具，其包括：

细粒石墨模具本体，其具有一或多个模具特征，

涂层，其在所述一或多个模具特征上，所述涂层通过原子层沉积形成，且包括氧化铝层或氧化铝及氧化钇的层。

2.根据权利要求1所述的模具，其中所述涂层具有在所述石墨模具本体的热膨胀系数的百万分之1/℃内的热膨胀系数。

3.根据权利要求1所述的模具，其中细粒石墨具有不大于10微米的晶粒大小。

4.根据权利要求1所述的模具，其中所述涂层的厚度在10纳米与500,000纳米之间。

5.根据权利要求1所述的模具，其中所述涂层基本上由氧化铝组成。

6.根据权利要求1所述的模具，其中所述涂层基本上由氧化铝及氧化钇的交替层组成。

7.根据权利要求1所述的模具，其中所述模具无离所述模具的平均表面平面大于约25微米的表面不连续性。

8.一种制造玻璃形成模具的方法，其包括：

提供细粒模具本体，及

通过原子层沉积，将涂层沉积于所述模具本体上，所述涂层包括氧化铝层或氧化铝及氧化钇的层。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述涂层具有在所述石墨模具本体的热膨胀系数的百万分之1/℃内的热膨胀系数。

10.根据权利要求8所述的方法，其中细粒石墨具有不大于10微米的晶粒大小。

11.根据权利要求8所述的方法，其中所述涂层的厚度在10纳米与500,000纳米之间。

12.根据权利要求8所述的方法，其中所述涂层基本上由氧化铝组成。

13.根据权利要求8所述的方法，其中所述涂层基本上由氧化铝及氧化钇的交替层组成。

14.根据权利要求8所述的方法，其中所述模具无离所述模具的平均表面平面大于约25微米的表面不连续性。

15.一种形成玻璃制品的方法，其包括：

提供细粒模具本体；

通过原子层沉积，将涂层沉积于所述模具本体上，所述涂层包括氧化铝层或氧化铝及氧化钇的层；及

使所述模具的表面与经软化玻璃接触。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述经软化玻璃是经软化铝硅酸盐玻璃。