[发明专利]静电卡盘装置

权利要求书

1.一种静电卡盘装置，其具备：

静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；

冷却基部，相对于所述静电卡盘部载置于与所述试样载置面相反的一侧且冷却所述静电卡盘部；及

粘接层，将所述静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，

所述静电卡盘部在所述粘接层侧具有凹凸，

所述第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×10¹⁰Ω/□。

2.一种静电卡盘装置，其具备：

静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；

冷却基部，相对于所述静电卡盘部载置于与所述试样载置面相反的一侧且冷却所述静电卡盘部；

粘接层，将所述静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起；及

电介质层，设置于所述静电卡盘部与所述冷却基部之间，

所述第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×10¹⁰Ω/□。

3.根据权利要求2所述的静电卡盘装置，其中，

所述电介质层中的电介质的介电常数小于所述静电卡盘部的介电常数。

4.一种静电卡盘装置，其具备：

静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；

冷却基部，相对于所述静电卡盘部载置于与所述试样载置面相反的一侧且冷却所述静电卡盘部；及

粘接层，将所述静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，

在所述第1电极与所述冷却基部之间具有第2电极，所述第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×10¹⁰Ω/□。

5.根据权利要求4所述的静电卡盘装置，其中，

所述第2电极经由包括电容器和线圈的匹配盒与高频电源连接或经由可变导体接地。

6.根据权利要求4或5所述的静电卡盘装置，其中，

所述第2电极的表面电阻值低于所述第1电极的表面电阻值。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的静电卡盘装置，其中，

所述第2电极设置于所述静电卡盘部的内部或所述静电卡盘部与所述冷却基部之间。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的静电卡盘装置，其中，

所述冷却基部经由包括电容器和线圈的匹配盒与高频电源连接。

9.根据权利要求5所述的静电卡盘装置，其中，

所述冷却基部经由包括电容器和线圈的匹配盒与高频电源连接，

调整所述冷却基部所连接的所述高频电源的第1电压的大小及所述第1电压的相位和所述第2电极所连接的所述高频电源的第2电压的大小及所述第2电压的相位。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的静电卡盘装置，其中，

所述第1电极经由高频截止滤波器与直流电源连接。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的静电卡盘装置，其中，

所述静电卡盘部在所述试样载置面的周围的比所述试样载置面更凹陷的凹部具有设置包围所述试样载置面的周围的圆环状的结构物的结构物设置面。

12.根据权利要求11所述的静电卡盘装置，其在所述结构物设置面与所述冷却基部之间具有静电吸附用第3电极。

13.根据权利要求12所述的静电卡盘装置，其中，

所述第3电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×10¹⁰Ω/□。