[发明专利]用于晶片上准确传感器位置确定的抖动校正

权利要求书

1.一种在非暂时性计算机可读取介质上有形地编码的计算机程序产品，该计算机程序产品包括使计算机系统进行以下操作的指令：

从抛光过程中扫过并监测基板的原位监测系统的第一传感器接收信号值序列，该信号值序列取决于在该基板上经历抛光的层的厚度；

从来自该原位监测系统的第一传感器的该信号值序列中检测该第一传感器穿过该基板或保持该基板的固定环的前缘的时间和该第一传感器穿过该基板或该固定环的后缘的时间；和

针对该信号值序列的至少一些信号值中的每个信号值，基于该第一传感器穿过该基板或该固定环的该前缘的该时间和该第一传感器穿过该基板或该固定环的后缘的该时间来确定该信号值在该基板上的位置，其中确定该信号值在该基板上的该位置的指令包括基于该第一传感器穿过该前缘的该时间和该第一传感器穿过该后缘的该时间来确定保持该基板的承载头的中心距可旋转平台的旋转轴的距离的指令，以及基于该距离来确定该信号值在该基板上的该位置的指令。

2.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中确定该位置的指令包括进行以下操作的指令：

确定该信号值的一阶导数；和

识别该信号值的该一阶导数中的第一极值和第二极值，其中该第一极值指示该前缘并且该第二极值指示该后缘。

3.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中确定该位置的指令包括进行以下操作的指令：

使承载头定位基板，使得该承载头的该中心距该可旋转平台的旋转轴的径向距离与该原位监测系统的该第一传感器距该可旋转平台的该旋转轴的径向距离相同；

用该第一传感器检测该前缘和该后缘；

确定该前缘和该后缘穿过该第一传感器的时间；

基于来自第二位置传感器的信号来确定平台旋转速率，该第二位置传感器与该原位监测系统的该第一传感器分开；和

确定该前缘和该后缘上的销点相对于该承载头的该中心的位置。

4.如权利要求1所述的计算机程序产品，其中确定该信号值在该基板上的该位置的指令包括进行以下操作的指令：使用其中该第一传感器通过该基板的边缘下方的销点与其中该第一传感器与该基板的该前缘和该后缘等距的中点之间的位置来确定该承载头相对于该平台的该中心的位置。

5.一种抛光方法，包括以下步骤：

使基板的层的表面与抛光垫接触；

使该基板和该抛光垫之间产生相对运动；

当用可旋转平台使该基板的该层经历抛光时，将原位监测系统的第一传感器扫过该基板；

从该原位监测系统产生信号值序列，该信号值序列取决于该层的厚度；

从来自该原位监测系统的该第一传感器的该信号值序列中检测该第一传感器穿过该基板或固定环的前缘的时间和该第一传感器穿过该基板或固定环的后缘的时间；和

针对该信号值序列中的至少一些信号值中的每个信号值，基于该第一传感器穿过该基板或该固定环的该前缘的该时间和该第一传感器穿过该基板或该固定环的后缘的该时间来确定该信号值在该基板上的位置，包括基于该第一传感器穿过该前缘的该时间和该第一传感器穿过该后缘的该时间来确定保持该基板的承载头的中心距可旋转平台的旋转轴的距离，以及基于该距离来确定该信号值在该基板上的该位置。

6.如权利要求5所述的抛光方法，其中检测该信号值序列的步骤包括以下步骤：检测该固定环的前缘和后缘。

7.如权利要求6所述的抛光方法，其中检测该固定环的前缘和后缘的步骤包括以下步骤：检测该固定环的内表面的前缘和后缘。

8.如权利要求5所述的抛光方法，其中确定该位置的步骤包括以下步骤：

确定该信号值序列的一阶导数；和

识别该一阶导数中的谷和峰，其中该谷指示该前缘并且该峰指示该后缘。

9.如权利要求5所述的抛光方法，其中检测该信号值序列的步骤包括以下步骤：检测该基板的该前缘和后缘内的金属层。