[发明专利]用于操作测量探针的操作设备

权利要求书

1.一种用于操作扫描探针显微镜(81)的测量探针(12)的操作设备(50)，其中所述测量探针(12)包括探针主体(51)和借助于托架(52)而与所述探针主体(51)耦合的探针尖(85)，其中所述操作设备(50)包括：

容纳装置(53)，所述容纳装置用于将所述测量探针(12)容纳在容纳面(54)上；

导向结构(55)，在所述导向结构中，所述测量探针(12)能被引导，并且在此，所述探针主体(51)被至少部分周向地界定了，并且所述托架(52)和所述探针尖(85)被无接触地支承；

输送装置(56)，所述输送装置用于沿着所述导向结构(55)，将所述测量探针(12)从所述容纳面(54)输送至目标面(57)。

2.根据权利要求1所述的操作设备(50)，包括用于安放在所述容纳装置(53)上的遮盖装置(58)，以遮盖所述测量探针(12)。

3.根据权利要求1或2所述的操作设备(50)，其中所述导向结构(55)在所述容纳面(54)和所述目标面(57)之间至少逐段地具有通道(59)，能沿着所述通道(59)，引导所述测量探针(12)。

4.根据权利要求3所述的操作设备(50)，其中借助于顶面和/或底面和/或侧面的壁(60)，限定所述通道(59)。

5.根据权利要求4所述的操作设备(50)，其中面向所述探针尖(85)的壁(60)具有用于无接触地自由放置所述托架(52)和所述探针尖(85)的自由位置(61)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的操作设备(50)，其中所述输送装置(56)被设计为用于沿着所述导向结构(55)，将所述测量探针(12)从所述目标面(57)输送回所述容纳面(54)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的操作设备(50)，其中所述输送装置(56)具有输入滑块(62)，所述输入滑块用于将所述测量探针(12)至少逐段地从所述容纳面(54)推动至所述目标面(57)。

8.根据权利要求7所述的操作设备(50)，其中当借助于所述输入滑块(62)，将所述测量探针(12)至少逐段地从所述容纳面(54)推动至所述目标面(57)时，所述输入滑块(62)具有用于无接触地自由放置所述托架(52)和所述探针尖(85)的自由位置(61)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的操作设备(50)，其中所述输送装置(56)具有用于将所述测量探针(12)至少逐段地从所述目标面(57)推回所述容纳面(54)的输出滑块(63)。

10.根据权利要求9所述的操作设备(50)，其中当借助于所述输出滑块(63)，将所述测量探针(12)至少逐段地从所述目标面(57)推回所述容纳面(54)时，所述输出滑块(63)被设计用于仅作用于测量探针(12)的探针主体(51)。

11.根据权利要求9或10所述的操作设备(50)，其中所述输出滑块(63)具有弹簧舌。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的操作设备(50)，其中所述输出滑块(63)具有在移位时作用于所述测量探针(12)的钩状件(5’)和与所述钩状件(5’)耦合且在移位时没入凹进部分(64)的释放凸起部(5”)，所述释放凸起部在所述测量探针(12)由于移位而到达所述容纳面(54)时，从所述凹进部分(64)中引出，所述钩状件(5’)由此释放所述测量探针(12)。

13.根据权利要求7和9所述的操作设备(50)，其中所述输出滑块(63)设计成，在垂直于推动方向(107、108)的方向上，比所述输入滑块(62)更窄。