[发明专利]试样分散装置

说明书

本发明提供能使粉末试样以相比以往更高的水平均匀分散的试样分散装置，其包括：容器(1)，内部形成有分散室(11)，粉末试样(S)在分散室(11)分散；以及导入机构(J)，利用所述容器(1)的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器(1)的外侧导入所述分散室(11)内，所述导入机构(J)具备包含粉末试样(S)的气体流经的导入管(2)，以及设置于所述导入管(2)的多个节流件。

技术领域

本发明涉及制作在SEM等电子显微镜、光学显微镜、拉曼显微镜等装置上进行观察的测定试样的试样分散装置。

背景技术

以往，用显微镜等观察粉末试样时，制作将粉末试样的颗粒在试样板上均匀分散的测定试样。

制作这种测定试样的试样分散装置，具备形成有内部保持规定的真空度并在内部配置试样板的试样分散室的容器，以及利用容器的内外的压力差将粉末试样导入所述试样分散室内的导入机构。

例如，在专利文献1所示的试样分散装置中，粉末试样的导入机构包括：以贯穿容器的内外的方式设置的导入管；在导入管中设置在容器的外侧即基端部的粉末试样的料斗；在所述导入管中形成在容器内的顶端部的喇叭状扩大开口的喷出口部；配置在所述喷出口部内的扩散器；以及设置在导入管上的用以开闭容器的内外的阀门。

所述导入机构在阀门关闭的状态下容器内被充分减压时，敞开所述阀门，利用容器的内外的压力差使粉末试样从喷出口部喷出。进而，从喷出口部喷出的粉末试样通过和扩散器碰撞，将粉末试样中处于凝聚状态的颗粒团粉碎，得到均匀的分散状态。

可是，由于近年的图像分析技术的提高而以更高的分辨率进行分析，所以要求测定试样的颗粒的分散性高于以往水平，上述结构的试样分散装置越来越难以应对所述要求。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公报3530453号

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供能使粉末试样以相比以往更高的水平均匀分散的试样分散装置。

即，本发明的试样分散装置包括：容器，内部形成有分散室，粉末试样在所述分散室分散；以及导入机构，利用所述容器的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器的外侧导入所述分散室内，所述导入机构具备：包含粉末试样的气体流经的导入管；以及设置于所述导入管的多个节流件。

按照这种构成，包含粉末试样的气体，每次通过多个节流件时至少被压缩，每当此时流体的加速度发生变化，对气体中的粉末试样的颗粒施加剪切力。因此，在粉末试样中凝聚的颗粒团上，多次重复作用使各颗粒分开的方向的力，可以使其分散为一个个颗粒。

此外，即使存在未充分分散而保持凝聚状态的颗粒团，凝聚状态的颗粒团和分散的颗粒相比，在通过多个节流件时被导入管或节流件的壁面吸附等的可能性较高。因此，通过设置多个节流件，也可以发挥使通过各节流件期间分散的颗粒更容易通过的过滤器作用。

因此，使凝聚状态的颗粒团比以往更难以被导入分散室内，能够提高分散的颗粒的比例，能得到例如在显微镜等使用的测定试样所要求的颗粒的分散性。

为了使包含粉末试样的气体每次通过多个节流件时重复压缩和膨胀，对凝聚状态的颗粒团的剪切力大幅变化而更容易被分散，可以是在所述导入管中在流体通过了所述多个节流件后或通过所述多个节流件时成为最小流道径后，流道径扩大。

为了防止粉末试样导入分散室内之后导入不含粉末试样的气体，从而防止颗粒在分散室内飞扬而损害均匀性，可以是还具备将所述分散室内减压的减压器，所述导入机构还包括：试样室，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，收容粉末试样和规定容量的气体；以及分隔结构，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，分隔所述试样室内和所述分散室之间，在导入粉末试样时敞开。