[发明专利]具有延迟线编码的多路复用表面声波传感器在审
申请号: | 201880058048.4 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN111295770A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | M·拉莫思;M-H·李 | 申请(专利权)人: | 艾维亚纳分子技术有限公司 |
主分类号: | H01L41/04 | 分类号: | H01L41/04;H01L41/08;G01N29/00 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 美国佛*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 延迟线 编码 多路复用 表面 声波 传感器 | ||
1.一种表面声波(SAW)装置,包括:
压电基板;以及
多个SAW传感器,其附接到所述压电基板并排列在所述压电基板的表面上,所述多个SAW传感器包括
第一SAW传感器,包括被构造成传播第一表面声波的第一延迟线,以及
第二SAW传感器,包括被构造成传播第二表面声波的第二延迟线,其中所述第一延迟线的长度大于所述第二延迟线的长度。
2.根据权利要求1所述的SAW装置,其中所述第一SAW传感器包括:
第一转换器,用于沿着所述第一延迟线传输所述第一表面声波,以及
第二转换器,用于在所述第一表面声波沿着所述第一延迟线传播时接收所述第一表面声波。
3.根据权利要求1所述的SAW装置,其中所述第一SAW传感器包括位于所述基板上的转换器和位于基板上且位于所述转换器对面的反射器,其中所述转换器沿着所述第一延迟线传输所述第一表面声波,并且所述转换器在所述第一表面声波从所述反射器反射出来并且沿着所述第一延迟线二次传播时接收所述第一表面声波。
4.根据权利要求3所述的SAW装置,其中所述反射器是第一反射器,以及其中所述第一SAW传感器还包括位于所述基板上且相对于所述转换器更接近所述第一反射器的第二反射器,其中所述转换器被构造成当所述第一表面声波从所述第二反射器反射出来并且沿着所述第一延迟线二次传播时接收所述第一表面声波。
5.根据权利要求4所述的SAW装置,其中所述第一反射器被构造成反射具有第一频率的表面声波,并且所述第二反射器被构造成反射具有第二频率的表面声波。
6.根据权利要求1所述的SAW装置,其中所述第一SAW传感器包括第一对电触头,并且所述第二SAW传感器包括第二对电触头,以及其中所述第一对和第二对电触头是电性连接的。
7.根据权利要求1所述的SAW装置,其中所述SAW传感器各自被构造成接收激励信号。
8.根据权利要求7所述的SAW装置,其中所述激励信号包括脉冲电压、正弦电信号、调频、线性调频、双曲调频、正交频率编码、随机调制、连续相位调制、频移键控、多频移键控、相移键控、小波调制或宽带频率信号中的至少一种。
9.根据权利要求7所述的SAW装置,其中所述SAW传感器各自被构造成同步接收所述激励信号。
10.根据权利要求1所述的SAW装置,还包括:
与所述第一SAW传感器和所述第二SAW传感器中的每一个通讯的一个或多个处理器,所述一个或多个处理器被构造成至少部分地基于从所述第一SAW传感器和所述第二SAW传感器接收的信号来生成接收信号。
11.根据权利要求10所述的SAW装置,其中所述一个或多个处理器还被构造成至少部分地基于所述接收信号而测定或监控至少一种被分析物。
12.根据权利要求11所述的SAW装置,其中所述一个或多个处理器被构造成通过检测对应于所述激励信号的脉冲、对应于所述第一SAW传感器的脉冲、或对应于所述第二SAW传感器的脉冲中的至少两者间的振幅、相位、频率或时间延迟的变化来测定或监控鉴别所述至少一种被分析物。
13.根据权利要求10所述的SAW装置,其中所述接收信号包含具有多个脉冲的压缩脉冲串。
14.根据权利要求13的SAW装置,其中所述压缩脉冲串的所述多个脉冲包含:
对应于所述第一SAW传感器的第一脉冲,和对应于所述第二SAW传感器的第二脉冲。
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