[发明专利]微流量测量装置和具有可移动特征的装置

权利要求书

1.一种微流量装置，包括：

主体，具有腔室，和具有进入所述腔室中的通道的第一端口和第二端口，

在所述主体的第一表面上的第一膜；

在所述第一膜的一部分上的第一电极；

在所述主体的相反的第二表面上的第二膜；

在所述第二膜的一部分上的第二电极；

固定到所述第一膜和第二膜的所述腔室中的轴；

轮构件，布置在所述腔室中，与所述腔室间隔开第一间隙，并与轴隔开第二间隙；和

布置在所述第一膜与第二膜之间的中断器特征，所述中断器特征是轮构件的结构特征，随着轮构件旋转，所述中断器特征导致所述第一电极和所述第二电极之间的电容改变。

2.根据权利要求1所述的微流量装置，还包括：

连接到所述第一膜的第一端盖和连接到所述第二膜的第二端盖，所述第一膜和所述第二膜由具有几微米厚度的柔性材料制成，所述主体由厚度为所述第一膜的和所述第二膜的柔性材料的厚度的多倍的柔性材料制成。

3.根据权利要求1所述的微流量装置，还包括：

联接到所述第一电极和所述第二电极的电容测量电路。

4.根据权利要求1所述的微流量装置，其中，所述中断器特征是相对于轮旋转方向的对称特征。

5.根据权利要求4所述的微流量装置，其中，所述中断器特征在轮上，微型装置还包括：

联接至所述第一电极和所述第二电极的电容测量电路，对于与轮构件的沿逆时针方向的旋转相比较的轮构件的沿顺时针方向的旋转，所述轮构件上的电极引起所测得的电容的调制，从而允许电容测量电路辨别第一端口和第二端口之间的流率而不是流体流动方向。

6.根据权利要求1所述的微流量装置，其中，所述中断器特征是相对于轮旋转方向的不对称特征。

7.根据权利要求6所述的微流量装置，其中，所述中断器特征在轮上，微型装置还包括：

联接至所述第一电极和所述第二电极的电容测量电路，对于与轮构件的沿逆时针方向的旋转相比较的轮构件的沿顺时针方向的旋转，轮构件上的电极导致所测得的电容的实质上不相等的调制，从而允许所述电容测量电路辨别所述第一端口和所述第二端口之间的流率和流体流动方向。

8.根据权利要求1所述的微流量装置，包括与至少一个微流量装置堆叠的至少一个附加微流量装置，所述至少一个附加微流量装置具有连接到所述第一电极的附加第一电极和连接到所述第二电极的附加第二电极。

9.根据权利要求1所述的微流量装置，其中，所述轮还包括：

中心芯；和

连接到所述中心芯的多个叶片。

10.根据权利要求3所述的微流量装置，其中，所述电容测量电路还包括：

控制器，所述控制器将来自所述电容测量电路的测量电容转换为流量值。

11.根据权利要求1所述的微流量装置，其中，所述中断器特征是电极，一组狭缝，一组电极，一组孔口中的一个或多个。

12.一种微流量装置，包括：

主体，具有腔室、第一端口和第二端口，所述第一端口和第二端口联接到进入所述腔室中的通道；

围绕所述腔室的中心设置的轴构件；

围绕所述轴构件设置在所述腔室中的轮构件，并且所述轮构件与所述轴构件间隔开具有窄间隙宽度的间隙；

在主体的第一表面上的柔性材料的第一膜，在第一膜的一部分上具有第一电极；

在主体的第二相对表面上的第二膜，在第二膜的一部分上具有第二电极；和

中断器特征，当所述轮旋转时，所述中断器特征导致第一电极和第二电极之间的电容值发生变化。

13.根据权利要求12所述的微流量装置，其中，所述中断器特征是实现电容的对称变化的对称特征。