[发明专利]致动器、阀、以及流体控制装置

说明书

本发明提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。具备致动器(3)的阀(1)中，倍力机构(30)具有在放大驱动力时不会变形的多个第一杠杆(31)，各个第一杠杆(31)具有接受来自弹簧承受部件(22)的弹簧承受部(22A)的力的施力点部(内端部(31E))、抵接于中间壳体(17)的下表面(17F)并成为第一杠杆(31)的转动中心的支点部(外端部(31D))、以及向移动部件(15)传递力的作用点部(外侧部(31B)的对第二突起部(33C)抵接的部分)。

技术领域

本发明涉及一种使用于半导体制造装置等的流体管路中的致动器、阀、以及流体控制装置。

背景技术

已知一种具备倍力机构的阀的方案(例如参照专利文献1)，其中，所述倍力机构通过利用杠杆原理的具有柔软性的施力部件来放大力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6059259号说明书

发明内容

(一)要解决的技术问题

但是，在专利文献1所公开的倍力机构中，会由于施力部件会发生形变而耐久性差，无法在开闭次数多的阀中使用。

因此，本发明的目的在于，提供一种具有耐久性优异的倍力机构的致动器、阀、以及流体控制装置。

(二)技术方案

为了实现上述目的，本发明一方式的致动器具备：壳体(casing)；往复运动部件，其设置为能够在所述壳体内往复运动；驱动单元，其设置于所述壳体内，且使所述往复运动部件驱动；倍力机构，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力放大；以及移动部件，其接受通过所述倍力机构所放大的力而移动，所述倍力机构具有配置于所述移动部件的周向且在放大所述驱动力时不会变形的多个杠杆，各个杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个杠杆的转动中心的支点部、以及向所述移动部件传递力的作用点部。

另外，也可以为，所述施力点部为所述各个杠杆的内端部，所述支点部为所述各个杠杆的外端部，所述作用点部位于所述内端部与所述外端部之间。

另外，也可以为，所述倍力机构具备保持所述多个杠杆的保持件(retainer)。

另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第一杠杆，所述倍力机构具有：第一倍力部，其使通过所述驱动单元而施加于所述往复运动部件的驱动力倍增；以及第一传递部，其传递通过所述第一倍力部所倍增的力，所述第一倍力部具有配置于所述往复运动部件的周向的所述多个第一杠杆，所述第一传递部具有对应于所述多个第一杠杆而设置的多个第一传递部件，各个第一杠杆具有接受来自所述往复运动部件的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第一杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第一传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第一杠杆的作用点部进行线接触的第一接触部。

另外，也可以为，所述多个杠杆具有多个第二杠杆，所述倍力机构还具备：第二倍力部，其放大通过所述第一传递部所传递的力；以及第二传递部，其将通过所述第二倍力部所放大的力传递至所述移动部件，所述第二倍力部具有对应于所述第一传递部件而设置的多个第二杠杆，所述第二传递部具有对应于所述多个第二杠杆而设置的多个第二传递部件，各个第二杠杆具有接受来自所述第一传递部的力的施力点部、抵接于所述壳体并成为各个第二杠杆的转动中心的支点部、以及向所述第二传递部件传递力的作用点部，各个第一传递部件具有对各个第二杠杆的施力点部进行线接触的第二接触部，各个第二传递部件具有对各个第二杠杆的作用点部进行线接触的第三接触部。

另外，也可以为，所述驱动单元具备：活塞，其通过从外部所供给的驱动流体而驱动，且连接有所述往复运动部件；以及施力单元，其朝向所述移动部件对所述往复运动部件施力。