[发明专利]具有AMR角度传感器的各向异性磁阻(AMR)角度传感器管芯有效
申请号: | 201880055858.4 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN111065882B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | D·W·李 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/30 | 分类号: | G01B7/30;G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵志刚 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 amr 角度 传感器 各向异性 磁阻 管芯 | ||
1.一种各向异性磁阻角度传感器管芯即AMR角度传感器管芯,包括:
多个AMR角度传感器,所述多个AMR角度传感器中的每一个包括两个惠斯通电桥,其中所述传感器管芯的角度位置输出包括所述多个AMR角度传感器中的每一个的角度位置输出的组合。
2.根据权利要求1所述的AMR角度传感器管芯,其中:
所述多个AMR角度传感器中的第一AMR角度传感器包括第一惠斯通电桥和第二惠斯通电桥,所述第一惠斯通电桥包括第一蛇形电阻器、第二蛇形电阻器、第三蛇形电阻器和第四蛇形电阻器,所述第二惠斯通电桥包括第五蛇形电阻器、第六蛇形电阻器、第七蛇形电阻器和第八蛇形电阻器,以及
所述多个AMR角度传感器中的第二AMR角度传感器包括第三惠斯通电桥和第四惠斯通电桥,所述第三惠斯通电桥包括第九蛇形电阻器、第十蛇形电阻器、第十一蛇形电阻器和第十二蛇形电阻器,所述第四惠斯通电桥包括第十三蛇形电阻器、第十四蛇形电阻器、第十五蛇形电阻器和第十六蛇形电阻器。
3.根据权利要求2所述的AMR角度传感器管芯,其中:
所述蛇形电阻器中的每一个限定设置在与其他蛇形电阻器基本相同的平面内的大致梯形的多边形,
所述第一蛇形电阻器至所述第八蛇形电阻器被设置成限定基本规则的第一八角形多边形,其中所述第五蛇形电阻器位于所述第一蛇形电阻器和所述第二蛇形电阻器之间,所述第六蛇形电阻器位于所述第二蛇形电阻器和所述第三蛇形电阻器之间,所述第七蛇形电阻器位于所述第三蛇形电阻器和所述第四蛇形电阻器之间,并且所述第八蛇形电阻器位于所述第四蛇形电阻器和所述第一蛇形电阻器之间,以及
所述第九蛇形电阻器至所述第十六蛇形电阻器被设置成限定基本规则的第二八角形多边形,其中所述第十三蛇形电阻器位于所述第九蛇形电阻器和所述第十蛇形电阻器之间,所述第十四蛇形电阻器位于所述第十蛇形电阻器和所述第十一蛇形电阻器之间,所述第十五蛇形电阻器位于所述第十一蛇形电阻器和所述第十二蛇形电阻器之间,并且所述第十六蛇形电阻器位于所述第十二蛇形电阻器和所述第九蛇形电阻器之间。
4.根据权利要求2所述的AMR角度传感器管芯,其中:
所述多个AMR角度传感器中的第三AMR角度传感器包括第五惠斯通电桥和第六惠斯通电桥,所述第五惠斯通电桥包括第十七蛇形电阻器、第十八蛇形电阻器、第十九蛇形电阻器和第二十蛇形电阻器,所述第六惠斯通电桥包括第二十一蛇形电阻器、第二十二蛇形电阻器、第二十三蛇形电阻器和第二十四蛇形电阻器,以及
所述多个AMR角度传感器中的第四AMR角度传感器包括第七惠斯通电桥和第八惠斯通电桥,所述第七惠斯通电桥包括第二十五蛇形电阻器、第二十六蛇形电阻器、第二十七蛇形电阻器和第二十八蛇形电阻器,所述第八惠斯通电桥包括第二十九蛇形电阻器、第三十蛇形电阻器、第三十一蛇形电阻器和第三十二蛇形电阻器。
5.根据权利要求1所述的AMR角度传感器管芯,其中所述多个AMR角度传感器中的每一个AMR角度传感器的每个惠斯通电桥包括四个蛇形电阻器,其中每个惠斯通电桥的所述蛇形电阻器包括各向异性磁阻材料。
6.根据权利要求5所述的AMR角度传感器管芯,其中所述各向异性磁阻材料包括镍和铁。
7.根据权利要求1所述的AMR角度传感器管芯,其中所述管芯的平面面积小于1.2mm×1.2mm。
8.一种各向异性磁阻角度传感器封装即AMR角度传感器封装,包括:
传感器管芯,其包括多个AMR角度传感器,所述多个AMR角传感器中的每一个包括设置在相同平面内并且以八角形图案设置的两个惠斯通电桥,其中所述传感器管芯的角度位置输出包括所述AMR角度传感器中的每一个的角度位置输出的组合。
9.根据权利要求8所述的AMR角度传感器封装,还包括电耦合到所述传感器管芯的模拟前端即AFE,所述AFE被配置成向所述多个AMR角度传感器中的每一个提供电力和接地,并且向所述传感器管芯的所述角度位置输出提供信号调节。
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