[发明专利]用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法

权利要求书

1.一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：

-旨在连接到待测试物体的检测入口(2)，

-泵送装置(3)，其包括：

-连接到所述检测入口(2)的真空管线(7)，

-连接到所述真空管线(7)的粗抽真空泵(8)，和

-连接到所述真空管线(7)的涡轮分子真空泵(9)，它的输出端连接到所述粗抽真空泵(8)，

-连接到所述涡轮分子真空泵(9)的气体检测器(4)，

其特征在于，所述泵送装置(3)包括辅助泵送装置(10)，该辅助泵送装置连接到所述粗抽真空泵(8)，以降低所述粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力，其中，所述粗抽真空泵(8)包括串联安装的多个泵送级(T1-T5)，所述辅助泵送装置(10)连接到所述粗抽真空泵(8)的级间通道(C1-C4)。

2.根据前一项权利要求所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述泄漏检测器包括构造成测量所述真空管线(7)中的压力的压力传感器(5)和连接到所述压力传感器(5)的控制单元(6)，所述泵送装置(3)包括能由所述控制单元(6)控制的极限真空电动阀(11)，所述极限真空电动阀(11)将所述辅助泵送装置(10)连接到所述粗抽真空泵(8)，所述控制单元(6)还被配置为当由所述压力传感器(5)测定的压力低于或等于低压阈值时命令打开所述极限真空电动阀(11)。

3.根据前一项权利要求所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述级间通道(C4)将所述粗抽真空泵(8)的倒数第二个泵送级(T4)连接到所述粗抽真空泵(8)的最后一个泵送级(T5)。

4.根据权利要求2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述泄漏检测器包括作为极限真空电动阀(11)的旁路连接在所述级间通道(C4)上的吹扫装置(19)。

5.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述辅助泵送装置(10)包括至少一个辅助泵(18)。

6.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述辅助泵送装置(10)包括真空储器(21)、插置在所述真空储器(21)与所述粗抽真空泵(8)之间的极限真空电动阀(11)和插置在所述真空储器(21)与所述粗抽真空泵(8)的进气口(12)之间的真空产生电动阀(22)，所述极限真空电动阀(11)和真空产生电动阀(22)能由所述泄漏检测器(1)的控制单元(6)控制。

7.根据权利要求5所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述至少一个辅助泵(18)是隔膜泵。

8.一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测方法(100)，所述泄漏检测方法在根据前述权利要求中任一项所述的泄漏检测器(1)中实施，其中，使用辅助泵送装置(10)降低粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力。

9.根据前一项权利要求所述的泄漏检测方法(100)，其中，当在真空管线(7)中测定的压力低于或等于低压阈值，命令使所述辅助泵送装置(10)与所述粗抽真空泵(8)相连的极限真空电动阀(11)打开，以便使用所述辅助泵送装置(10)来降低所述粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力。

10.根据权利要求8或9所述的泄漏检测方法(100)，其中，在所述泄漏检测器(1)启动时，使用所述粗抽真空泵(8)并使用所述辅助泵送装置(10)的辅助泵(18)来降低所述真空管线(7)中的压力。

11.根据权利要求9所述的泄漏检测方法(100)，其中，当所述泄漏检测器(1)未使用的时间长于预定时间时降低所述粗抽真空泵(8)的转速，并命令所述极限真空电动阀(11)打开。