[发明专利]集成法拉第旋转器

权利要求书

1.一种光波导部件，用于向在所述光波导部件中传播的线性偏振光的偏振面提供法拉第旋转，其中，所述波导由硅制成，并且具有平行于外部施加的磁场的折叠或缠绕的部分。

2.根据权利要求1所述的光波导部件，其中，所述波导以螺旋形缠绕在所述部件的平面上。

3.根据权利要求1所述的光波导部件，其中，所述波导以弯折的形式缠绕在所述部件的平面上，由此彼此平行的相邻线性部分与所述波导的弯曲部分相组合，所述弯曲部分在具有反向传播的光的平行部分之间提供相移，该相移补偿反向传播的波导之间的法拉第旋转的抵消。

4.根据权利要求2所述的光波导部件，其中，所述波导缠绕为具有反向传播的逆时针和顺时针分支的双螺旋线，由此同一匝的相对的线性波导部分与所述波导的弯曲部分相组合，每个所述弯曲部分提供相移，该相移补偿在所述波导的相邻平行线性部分中的反向传播波之间的法拉第旋转的抵消。

5.根据权利要求2所述的光波导部件，其中，所述波导缠绕为具有一个逆时针或顺时针分支的单个螺旋线。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光波导部件，其中，所述波导包括交替的线性部分和弯曲部分，其中，所述线性部分由非双折射波导材料组成，并且所述弯曲部分由双折射波导材料组成，该双折射波导材料在所述反向传播部分之间提供180°相移。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的光波导部件，其中，所述线偏振光由基本的横向电模式和横向磁模式组成。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的光波导部件，其中，所述波导的双折射弯曲部分包括在传播方向上具有增加的曲率的弯曲部，例如欧拉弯曲部。

9.根据权利要求1至7中的任一项所述的光波导部件，其中，所述波导的双折射弯曲部分包括基于全内反射镜的弯曲部，以实现最小的占地面积。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的光波导部件，其中，通过对所述波导部分中的硅材料进行热氧化来控制光波导部分的双折射。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的光波导部件，其中，通过蚀刻所述波导部分中的硅材料来控制光波导部分的双折射。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的光波导部件，其中，通过沉积包层(例如，Si₃N₄)来在所述波导部分中引起应变，从而控制光波导部分的双折射。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的光波导部件，其中，通过原子层沉积(ALD)来控制光波导部分的双折射。

14.根据权利要求1至13中的任一项所述的光波导部件，其中，通过沉积压电材料来主动控制所述波导部分中的应变，从而控制光波导部分的双折射。