[发明专利]固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法、以及电子设备有效
申请号: | 201880053093.0 | 申请日: | 2018-08-06 |
公开(公告)号: | CN111247637B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 田中俊介;大高俊德;盛一也 | 申请(专利权)人: | 普里露尼库斯新加坡私人有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N25/77 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 孙芬 |
地址: | 新加坡安*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 摄像 装置 制造 方法 以及 电子设备 | ||
1.一种固态摄像装置,包括:
配置有像素的像素部,
所述像素包含:
第一光电转换部,积累通过对入射光的光电转换而产生的电荷;
第二光电转换部,积累通过对入射光的光电转换而产生的电荷;
透镜部,使光射入至所述第一光电转换部及所述第二光电转换部;
第一传输元件,可在指定的传输期间传输所述第一光电转换部所积累的电荷;
第二传输元件,可在指定的传输期间传输所述第二光电转换部所积累的电荷;
浮置扩散层,通过所述第一传输元件及所述第二传输元件中的至少一个传输元件,而被传输由所述第一光电转换部及所述第二光电转换部中的至少一个光电转换部积累的电荷;以及
源极跟随元件,将所述浮置扩散层的电荷以与电荷量对应的增益转换为电压信号,
所述第一光电转换部及所述第二光电转换部在第一方向上并排地配置,
所述透镜部是以使光学中心处于至少从所述像素的中央部偏离的位置的方式配置,
所述固态摄像装置的特征在于:
所述第一光电转换部在与所述第一方向正交的第二方向上,至少包含第一光电转换区域及第二光电转换区域,
所述第二光电转换部在与所述第一方向正交的第二方向上,至少包含第三光电转换区域及第四光电转换区域,
所述透镜部是以使光至少射入至所述第一光电转换区域、所述第二光电转换区域、所述第三光电转换区域及所述第四光电转换区域的方式形成,
所述透镜部包括:
第一微透镜,使光射入至所述第一光电转换部的所述第一光电转换区域及所述第二光电转换部的所述第三光电转换区域;以及
第二微透镜,使光射入至所述第一光电转换部的所述第二光电转换区域及所述第二光电转换部的所述第四光电转换区域,
其中,所述第一微透镜是以使第一光学中心位于所述第一光电转换部的所述第一光电转换区域与所述第二光电转换部的所述第三光电转换区域的第一边界中央部的方式配置,以及
所述第二微透镜是以使第二光学中心位于所述第一光电转换部的所述第二光电转换区域与所述第二光电转换部的所述第四光电转换区域的第二边界中央部的方式配置。
2.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其特征在于:
所述浮置扩散层配置于像素的中央部,
所述第一光电转换部及所述第二光电转换部在第一方向上,隔着所述浮置扩散层而并排地配置。
3.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其特征在于:
呈行列状地排列于所述像素部的多个像素包含:
水平像素,在列方向上并排地配置有所述第一光电转换部与所述第二光电转换部;
垂直像素,在行方向上并排地配置有所述第一光电转换部与所述第二光电转换部;以及
倾斜像素,在相对于列方向及行方向具有特定角度的倾斜方向上并排地配置有所述第一光电转换部与所述第二光电转换部。
4.根据权利要求3所述的固态摄像装置,其特征在于:
所述倾斜像素包括第一倾斜像素与第二倾斜像素中的至少任一个,其中:
所述第一倾斜像素,在与列方向及行方向之间从列方向朝顺时针方向具有特定角度的第一倾斜方向正交的方向上,并排地配置有所述第一光电转换部与所述第二光电转换部,
所述第二倾斜像素,在与行方向及列方向之间从行方向朝顺时针方向具有特定角度的第二倾斜方向正交的方向上,并排地配置有所述第一光电转换部与所述第二光电转换部。
5.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其特征在于:
所述固态摄像装置为背面照射型。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的