[发明专利]含有固体碳的材料的加工体、其制造方法和其制造装置

说明书

一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料由至少具有含有固体碳的表面的材料构成；形成气相流体的步骤，所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种；和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。

技术领域

本公开涉及一种含有固体碳的材料的加工体、其制造方法和其制造装置。本申请要求于2017年8月15日提交的日本专利申请号2017-156849的优先权。该日本专利申请中说明的所有说明内容以引用的方式并入本文中。

背景技术

用于加工诸如金刚石的含有固体碳的材料的方法的实例包括诸如切割、研磨和/或抛光的机械加工方法和使用诸如等离子体、离子和/或自由基的激发物种的化学加工方法。

作为机械加工方法，《日本磨料技术学会杂志》，第53卷，第4期，2009年4月，第242-247页(非专利文献1)公开了使用紫外线辅助抛光对PCD(金刚石烧结体)进行超精密加工。作为化学加工方法，Applied Physics(《应用物理》)，第77卷，第4期，2008年4月，第383-389页(非专利文献2)公开了使用低频大气压微等离子体射流加工固体材料。New Diamond andFrontier Carbon Technology(《新金刚石与前沿碳技术》)，第13卷，第1期，2003年1月，第19-30页(非专利文献3)公开了使用RIE(反应性离子蚀刻)加工单晶金刚石。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：《日本磨料技术学会杂志》，第53卷，第4期，2009年4月，第242-247页。

非专利文献2：Applied Physics(《应用物理》)，第77卷，第4期，2008年4月，第383-389页。

非专利文献3：New Diamond and Frontier Carbon Technology(《新金刚石与前沿碳技术》)，第13卷，第1期，2003年1月，第19-30页。

发明内容

根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料至少具有由含有固体碳的材料构成的表面；形成气相流体的步骤，所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种；和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的所述表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。

根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体的制造装置为用于根据所述方面的方法中的含有固体碳的材料的加工体的制造装置，所述装置包括：被构造为保持所述含有固体碳的材料的材料保持部；被构造为形成所述气相流体的流体形成部；包括被构造为喷射所述气相流体的喷射口的流体喷射部；和被构造为控制所述含有固体碳的材料或所述喷射口的至少一者的位置的控制部。

根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体，所述加工体至少具有由含有固体碳的材料构成的加工表面，其中：所述加工表面包括向内凸起的凹部和向外凸起的凸部；并且当从与所述加工表面的最小二乘平面垂直的方向观察所述加工表面时，所述凹部的总面积占所述加工表面的总面积的60％以上。

附图说明

图1为示出根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体的制造方法的实例的流程图。

图2为示出根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体的制造方法和制造装置的实例的示意性侧视图。

图3为示出根据本公开的一个方面的含有固体碳的材料的加工体的制造方法中使用的含有固体碳的材料的实例的示意性立体图。