[发明专利]液体测微器

说明书

本发明的液体测微器的特征在于，包括：液体流路(30)，从液体供给单元(10)将液体供给至排出喷嘴(20)；流量传感器(40)，设置在液体流路(30)；控制阀(50)，设置在液体供给单元(10)与流量传感器(40)之间的液体流路(30)；控制部(60)，以由流量传感器(40)所测量的流量为设定值的方式控制控制阀(50)；压力传感器(70)，测量从排出喷嘴(20)喷出的液体的压力；运算部(80)，根据由控制部将流量保持为设定值的状态下的压力传感器(70)所测量的压力来运算工件(A)的尺寸。

技术领域

本发明涉及使用液体来测量工件的尺寸的液体测微器。

背景技术

存在有一种空气测微器，能够通过简便的操作进行高精度的尺寸测量(专利文献1)。

专利文献1记载的空气测微器具备：测量部，将空气流路的上游侧与下游侧利用多孔质构件隔开而构成；第1压力传感器，检测测量部的上游侧的空气的第1压力输出其信号；第2压力传感器，检测测量部的下游侧的空气的第2压力输出其信号；以及温度传感器，检测测量部内的空气的温度并输出信号。并且该空气测微器获取从第1压力传感器及第2压力传感器所输出的信号，以使第2压力传感器的第2压力成为一定值的方式控制空气流路的控制阀的开度，根据第1压力与该第2压力的压力差、第2压力以及空气的温度，算出从测量头的喷出孔喷出的空气的单位时间的质量流量，根据质量流量算出工件的尺寸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-58213号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，如空气这样的气体由于是压缩性流体，因此测量误差较大。另外容易受到温度的影响，而且因温度变化导致的粘度的变化也很大。

另外，在不想要使工件乾燥的情况下无法使用。

于是本发明的目的在于提供一种使用液体的液体测微器。

用于解决技术问题的方案

方案1所述的本发明的液体测微器，将从液体供给单元供给的液体从排出喷嘴朝向工件喷出来测量所述工件的尺寸，其特征在于，包括：液体流路，从所述液体供给单元将所述液体供给至所述排出喷嘴；流量传感器，设置在所述液体流路；控制阀，设置在所述液体供给单元与所述流量传感器之间的所述液体流路；控制部，以由所述流量传感器测量的流量成为设定值的方式控制所述控制阀；压力传感器，测量从所述排出喷嘴喷出的所述液体的压力；运算部，根据通过所述控制部将所述流量保持为所述设定值的状态下的所述压力传感器所测量的所述压力运算所述工件的所述尺寸。

方案2所述的本发明，在方案1所述的液体测微器中，其特征在于，包括：循环流路，从所述液体供给单元与所述控制阀之间的所述液体流路分流，与所述液体供给单元的上游侧流路合流；循环控制阀，设置在所述循环流路。

方案3所述的本发明，在方案1或方案2所述的液体测微器中，其特征在于，所述流量传感器由多个压力传感器构成，将构成所述流量传感器的任一个所述压力传感器用作为测量从所述排出喷嘴喷出的所述液体的所述压力的所述压力传感器。

方案4所述的本发明，在方案1～方案3的任一项所述的液体测微器中，其特征在于，使所述液体流路及所述排出喷嘴由金属、合金钢、玻璃、陶瓷或工程塑料形成。

方案5所述的本发明，在方案1～方案4的任一项所述的液体测微器中，其特征在于，使所述液体为动力粘度小于20mPa·s的低粘度液体。

方案6所述的本发明，其特征在于，在方案1～方案5的任一项所述的液体测微器中，使所述液体为硅晶圆的蚀刻液。

发明效果