[发明专利]照明装置

权利要求书

1.一种照明装置，其具有：

相干光源，其射出光；

衍射光学元件，其对从所述相干光源射出的所述光进行衍射；

投射光学系统，其使由所述衍射光学元件衍射后的光反射或折射而朝向投影面；

第1透镜，其配置在沿着从所述衍射光学元件至所述投射光学系统的光路的所述衍射光学元件与所述投射光学系统之间，并且以与所述衍射光学元件隔开该第1透镜的焦距的方式配置；

第2透镜，其配置在沿着从所述第1透镜至所述投射光学系统的光路的所述第1透镜与所述投射光学系统之间，并且以与所述第1透镜隔开所述第1透镜的焦距与该第2透镜的焦距之和的方式配置；以及

0级光掩模，其配置在沿着从所述第1透镜至所述第2透镜的光路的所述第1透镜与所述第2透镜之间，遮断所述衍射光学元件中的0级光，

所述投射光学系统使由所述衍射光学元件衍射后的1级衍射光的一部分和另一部分朝向不同的方向，

所述照明装置对所述投影面以与所述衍射光学元件的衍射特性对应的线状、文字或图形的图案进行照明。

2.一种照明装置，其具有：

相干光源，其射出光；

衍射光学元件，其对从所述相干光源射出的所述光进行衍射；

投射光学系统，其使由所述衍射光学元件衍射后的光反射或折射而朝向投影面；

第1透镜，其配置在沿着从所述衍射光学元件至所述投射光学系统的光路的所述衍射光学元件与所述投射光学系统之间，并且以与所述衍射光学元件隔开该第1透镜的焦距的方式配置；

第2透镜，其配置在沿着从所述第1透镜至所述投射光学系统的光路的所述第1透镜与所述投射光学系统之间，并且以与所述第1透镜隔开所述第1透镜的焦距与该第2透镜的焦距之和的方式配置；以及

高级衍射光掩模，其配置在沿着从所述第1透镜至所述第2透镜的光路的所述第1透镜与所述第2透镜之间，遮断所述衍射光学元件中的高级衍射光，

所述投射光学系统使由所述衍射光学元件衍射后的1级衍射光的一部分和另一部分朝向不同的方向，

所述照明装置对所述投影面以与所述衍射光学元件的衍射特性对应的线状、文字或图形的图案进行照明。

3.根据权利要求1或2所述的照明装置，其中，

所述衍射光学元件具有对从所述相干光源射出的所述光的一部分进行衍射的第1要素衍射光学元件和对从所述相干光源射出的所述光的另一部分进行衍射的第2要素衍射光学元件，

所述投射光学系统使第1衍射光和第2衍射光朝向不同的方向，该第1衍射光是由所述第1要素衍射光学元件衍射后的1级衍射光，该第2衍射光是由所述第2要素衍射光学元件衍射后的1级衍射光。

4.根据权利要求1或2所述的照明装置，其中，

所述投射光学系统是反射元件或棱镜。

5.根据权利要求1或2所述的照明装置，其中，

所述投射光学系统包含：半反射镜，其使由所述衍射光学元件衍射后的1级衍射光的一部分反射而使另一部分透过；以及反射元件，其使透过所述半反射镜的所述1级衍射光的另一部分反射。

6.根据权利要求1或2所述的照明装置，其中，

所述投射光学系统是对由所述衍射光学元件衍射后的光进行衍射的投射用衍射光学元件。

7.根据权利要求6所述的照明装置，其中，

所述衍射光学元件具有：第1要素衍射光学元件，其对从所述相干光源射出的所述光的一部分进行衍射；以及第2要素衍射光学元件，其对从所述相干光源射出的所述光的另一部分进行衍射，

所述投射用衍射光学元件具有：第1投射用要素衍射光学元件，其对第1衍射光进行衍射而使该第1衍射光朝向第1方向，该第1衍射光是由所述第1要素衍射光学元件衍射后的1级衍射光；以及第2投射用要素衍射光学元件，其对第2衍射光进行衍射而使该第2衍射光朝向与所述第1方向不同的第2方向，该第2衍射光是由所述第2要素衍射光学元件衍射后的1级衍射光。