[发明专利]显示装置、制造系统以及显示方法

权利要求书

1.一种显示装置，显示通过执行多个处理来制造出制造物的制造设备的生产率，在所述显示装置中，

所述制造设备具备多个包括多个构成要素的构成要素组，

所述多个处理的各处理由从多个所述构成要素组中选择出的多个构成要素来执行，

多个所述构成要素组包括第一构成要素组和第二构成要素组，所述第一构成要素组包括多个第一构成要素，所述第二构成要素组包括多个第二构成要素，

所述显示装置具备：

获取部，其从所述制造设备获取制造日志信息；

计算部，其基于所述制造日志信息，针对所述第一构成要素与所述第二构成要素的每个组合计算表示生产率的指标；以及

显示部，其将表示每个所述组合的生产率的指标显示于格子状对应图中的与所述组合相对应的交点的位置，所述格子状对应图具有配置有所述多个第一构成要素的第一轴和配置有所述多个第二构成要素的第二轴。

2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

所述计算部还针对所述格子状对应图中的沿着所述第一轴和所述第二轴中的任一方的每行或每列进行统计处理，由此判定与该行或该列对应的构成要素有无异常或者进行异常度的计算，

所述显示部还显示所述判定的结果或所述异常度。

3.根据权利要求1或2所述的显示装置，其特征在于，

在所述制造日志信息中，针对所述多个处理的各处理，将进行了处理的多个构成要素与处理的实际结果相对应地进行表示。

4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，

所述实际结果表示对应的处理中有无错误、对应的处理的开始时刻、对应的处理的结束时刻以及对应的处理是否良好的判定结果中的至少一方。

5.根据权利要求3或4所述的显示装置，其特征在于，

所述实际结果表示对应的处理的开始时刻和对应的处理的结束时刻中的至少一方，

所述计算部还基于所述制造日志信息中的、对应的处理的开始时刻和对应的处理的结束时刻中的至少一方处于规定的统计期间的信息，来计算所述指标。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的显示装置，其特征在于，

还具备受理部，所述受理部受理用户对多个构成要素组中包括的两个构成要素组进行的选择，

所述计算部将由所述受理部受理的两个构成要素组作为所述第一构成要素组和所述第二构成要素组来计算所述指标。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的显示装置，其特征在于，

所述格子状对应图是通过颜色或大小的差异来表示所述指标的热图。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的显示装置，其特征在于，所述指标包括以下指标中的至少一个指标：

(a)不良数，其与包括对应的组合的一个以上的处理中的被判定为不良的处理的数量相当；

(b)不良率，其与包括对应的组合的一个以上的处理中的被判定为不良的处理的比例相当；

(c)错误频度，其与包括对应的组合的一个以上的处理中发生的错误的频度相当；

(d)发生间隔，其与进行包括对应的组合的一个以上的处理中的被判定为不良的处理的时间间隔相当；

(e)生产时间，其与进行包括对应的组合的一个以上的处理所需要的时间相当；

(f)等待时间，其与为了进行包括对应的组合的一个以上的处理而进行待机的时间相当；

(g)停止时间，其与包括对应的组合的一个以上的处理停止的时间相当；

(h)通过进行包括对应的组合的一个以上的处理而制造出的多个所述制造物的成品率；

(i)通过进行包括对应的组合的一个以上的处理而制造出的多个所述制造物的生产计划比；

(j)通过进行包括对应的组合的一个以上的处理而制造出的多个所述制造物的检查结果；以及

(k)通过对这些指标中的至少一个指标进行统计处理而计算出的统计量。