[发明专利]半导体显示器、光电子半导体构件和其制造方法

说明书

在实施方式中，半导体显示器(10)包括多个半导体柱(2)以及第一和第二电接触片(3、4)。半导体柱(2)分别包括第一导电类型的半导体核(21)和与第一导电类型不同的第二导电类型的半导体壳(23)以及位于它们之间的用于产生辐射的有源层(22)。半导体柱(2)分别包括通电壳(24)，所述通电壳为了通电施加到相应的半导体壳(23)上。半导体柱(2)单独或以小组(29)通过第一和第二电接触片(3、4)彼此独立地被电气控制。

本发明涉及一种半导体显示器。此外，本发明还涉及一种光电子半导体构件。此外，本发明还涉及一种用于制造半导体显示器和光电子半导体构件的方法。

本发明所要解决的技术问题是提供一种半导体显示器，所述半导体显示器具有高的分辨率并且可以高效地制造。

该技术问题特别通过具有独立权利要求的特征的半导体显示器、光电子半导体构件和方法解决。优选的扩展方案是从属权利要求的主题。

根据至少一个实施方式，半导体显示器用于示出图像、尤其是可运动的图像。优选地，半导体显示器设定用于彩色的显示。为此，半导体显示器具有多个像点，所述像点也被称为像素。各个像点尤其设定用于光的不同颜色的辐射。由各个像点发射的不同颜色的光优选由蓝色、红色和绿色的光组成。

根据至少一个实施方式，半导体显示器包括多个半导体柱。尤其通过半导体柱形成像点。在此，每个像点优选包括其中多个、也可能仅其中一个半导体柱。半导体柱可以单独地或以小组组合地彼此独立地被电气控制。小组例如意味着最高25或16或10或4个半导体柱。

根据至少一个实施方式，半导体构件包括第一和第二电接触片。接触片优选是列触点和行触点。通过接触片可以对半导体柱进行电气控制。

根据至少一个实施方式，半导体柱分别包括第一导电类型的半导体核。半导体核尤其相应由n型掺杂的半导体材料构成。

根据至少一个实施方式，半导体柱分别包括由半导体材料构成的半导体壳，所述半导体材料具有与第一导电类型不同的第二导电类型。所述半导体壳尤其由p型导电的半导体材料构成。

根据至少一个实施方式，半导体柱分别包括有源层。有源层、例如单量子阱结构或多量子阱结构优选连续位于相应的半导体核与相关的半导体壳之间。有源层设定用于产生辐射、尤其用于产生可见光、如蓝光。所有半导体柱和进而所有有源层可以在制造公差的范围内设计为结构相同的，从而所有半导体柱发射相同颜色的初级辐射。备选地，不同的半导体柱具有彼此不同的用于产生不同的颜色和/或波长的光的有源层。

根据至少一个实施方式，半导体柱分别具有通电壳。通电壳设定用于给相应的配属的半导体壳通电。通电壳优选由透明的导电的氧化物(简称为TCO)、如氧化铟锡构成，或由一种或多种金属、如银构成。

在至少一个实施方式中，半导体显示器包括多个半导体柱以及第一和第二电接触片。半导体柱分别包括第一导电类型的半导体核和与第一导电类型不同的第二导电类型的半导体壳以及位于它们之间的用于产生辐射的有源层。半导体柱分别包括通电壳，所述通电壳为了通电施加到相应的半导体壳上。半导体柱单独或以小组通过第一和第二电接触片彼此独立地被电气控制。

利用在此描述的显示器可以建立具有很小的尺寸的各个像点，并且所述像点可以组合为一个模块，和/或在显示器中使用。能够通过使用单独或以小组可电气寻址的半导体柱减小各个像点的可能的尺寸。在此，各个半导体柱优选在俯视图中看具有大约1μm²的面积。

因此，利用在此描述的方法，在此处描述的显示器中，每mm²例如可以生长至少1000×1000＝10⁶个半导体柱。半导体柱可以以该密度存在于显示器中，或者在横向距离方面进行扩展，从而在已完成的显示器中在各个像点及半导体柱之间存在更大的距离。在此，半导体柱优选具有类似的高度和直径。换言之，半导体柱的高度和平均直径的纵横比优选在数量级1中，但也可以更大。