[发明专利]实时X射线剂量计

说明书

提供了一种具有光束源的辐射曝光系统。该系统还包括可变厚度降级器，该可变厚度降级器定位在光束源和待曝光的物体之间，用于向从光束源发射到物体上的辐射光束提供变化的降解度。该系统还包括一组检测器，位于可变厚度降级器与物体之间，用于接收并测量辐射光束在可变厚度降级器降解之后剩余的辐射光束的仅一部分。

技术领域

本发明总体上涉及辐射曝光，并且具体涉及使用具有可变厚度降级器的二极管的实时X射线剂量计。

背景技术

需要高强度的长期X射线曝光的应用(例如，半导体组件的总电离剂量(TID)评估)需要能够准确地实时监测和测量曝光时间以及X射线通量。

如果X射线系统关闭(例如，由于外部因素，诸如冷却水供应问题)，则测试系统需要记录曝光结光束的时间的能力，用于精确计算施加到样本的总剂量。

测试系统需要作为时间的函数监视X射线通量的能力，以测量曝光时间内的光束稳定性。测试系统可以延伸或减少样品的曝光，以确保实现所需的总剂量。

当今，大多数系统在“开环”中操作，意味着它们在给定时间内操作，并且不进行原位监测。因此，需要实时X射线监视器。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种具有光束源的辐射曝光系统。该系统还包括可变厚度降级器，该可变厚度降级器定位在光束源和待曝光的物体之间，用于向从光束源发射到物体上的辐射光束提供变化的降解度。该系统还包括一组检测器，位于可变厚度降级器与物体之间，用于接收并测量辐射光束在可变厚度降级器降解之后剩余的辐射光束的仅一部分。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于辐射光束控制的计算机程序产品。计算机程序产品包括非瞬态计算机可读存储媒质，该非瞬态计算机可读存储媒质具有随其体现的程序指令。程序指令可由计算机执行以使计算机执行方法。该方法包括通过定位在光束源和待曝光物体之间的可变厚度降级器向从光束源发射到物体上的辐射光束提供变化的降解度。该方法还包括通过位于可变厚度降级器与物体之间的一组检测器接收和测量在通过可变厚度降级器使辐射光束降解之后剩余的辐射光束的仅一部分。

根据本发明的另一方面，提供一种用于由具有光束源的辐射曝光系统执行的辐射光束控制的方法。该方法包括：通过定位在该光束源与待曝光的物体之间的可变厚度降级器向从该光束源发射到该物体上的辐射光束提供变化的降解度。该方法还包括通过位于可变厚度降级器与物体之间的一组检测器接收和测量在通过可变厚度降级器使辐射光束降解之后剩余的辐射光束的仅一部分。

这些和其他特征和优点将从结合附图阅读的本发明的说明性实施例的以下详细描述中变得明显。

附图说明

以下说明将参考以下附图提供优选实施例的细节，其中：

图1示出了根据本原理的实施例的可以应用本原理的示例性处理系统；

图2示出了根据本原理的实施例的可以应用本原理的示例性辐射曝光系统；

图3示出了根据本原理的实施例的可以应用本原理的另一个示例性辐射曝光系统；

图4示出了根据本发明的一个实施例的由不同材料形成的示例性可变厚度降级器的侧视图；

图5示出了根据本发明的实施方式的图4的可变厚度降级器的正视图；

图6示出了根据本发明的一个实施例的由不同材料形成的示例性可变厚度降级器的侧视图；

图7示出了根据本发明的一个实施例的图6的可变厚度降级器的顶视图；

图8示出根据本发明的实施例的由相同材料形成的另一个示例性可变厚度降级器的侧视图；

图9示出了根据本发明的实施例的图8的可变厚度降级器的正视图；