[发明专利]光学装置

权利要求书

1.一种光学装置，其特征在于，

具备：

基座，其具有主面；

可动部，其具有光学功能部；及

弹性支撑部，其连接于所述基座与所述可动部之间，且以所述可动部能够沿着与所述主面垂直的第1方向移动的方式支撑所述可动部，

所述弹性支撑部具有：杆；第1扭转支撑部，其沿着与所述第1方向垂直的第2方向延伸，且连接于所述杆与所述可动部之间；及第2扭转支撑部，其沿着所述第2方向延伸，且连接于所述杆与所述基座之间，

所述第1扭转支撑部的扭转弹簧常数大于所述第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

在自所述第1方向观察的情况下，所述第1扭转支撑部的宽度宽于所述第2扭转支撑部的宽度。

3.如权利要求1或2所述的光学装置，其特征在于，

在自所述第1方向观察的情况下，所述第1扭转支撑部的长度短于所述第2扭转支撑部的长度。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光学装置，其特征在于，

所述基座、所述可动部及所述弹性支撑部由SOI基板构成。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光学装置，其特征在于，

还具备：

固定梳齿电极，其设置于所述基座，且具有多个固定梳齿；及

可动梳齿电极，其设置于所述可动部及所述弹性支撑部的至少一者，且具有与所述多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。

6.如权利要求1～5中任一项所述的光学装置，其特征在于，

仅具备一对所述弹性支撑部。