[发明专利]用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置、用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置的使用、用以处理真空腔室中载体的设备、及真空沉积系统

权利要求书

1.一种支撑装置(100)，用以支撑真空腔室中的载体或部件，所述支撑装置包括：

一或多个电性可控制支撑元件(111)；

壳体(112)，用以至少部分地容置所述一或多个电性可控制支撑元件(111)，所述壳体具有容置部(113)，所述容置部用于所述一或多个电性可控制支撑元件(111)；

密封件(114)，用以提供所述壳体和布置于所述容置部(113)中的所述一或多个电性可控制支撑元件(111)之间的气密密封；以及

气密连接件(115)，用于电性供应线，所述电性供应线用于所述一或多个电性可控制支撑元件(111)。

2.如权利要求1所述的支撑装置(100)，其中所述一或多个电性可控制元件(111)布置于所述容置部(113)中，使得所述一或多个电性可控制元件(111)的第一侧(111A)面对所述壳体的内部空间(116)，及所述一或多个电性可控制元件(111)的第二侧(111B)面对所述壳体的外部空间(112E)，其中所述内部空间为气密密封。

3.如权利要求1或2所述的支撑装置(100)，其中所述密封件(114)包括片元件(117)，所述片元件具有一或多个容置开口(118)，所述一或多个容置开口(118)用于所述一或多个电性可控制元件(111)，所述片元件(117)通过气密连接件连接于所述壳体。

4.如权利要求3所述的支撑装置(100)，所述气密连接件为焊接接合，尤其为激光焊接接合。

5.如权利要求1至4任一项所述的支撑装置(100)，所述一或多个电性可控制支撑元件(111)包括选自由构造以支撑所述载体或所述部件的磁性固定件，尤其具有电永磁体的磁性固定件，及构造以在至少一个对准方向中移动所述载体的对准装置，尤其压电致动器所组成的群组的至少一个元件。

6.如权利要求1至5任一项所述的支撑装置(100)，所述壳体(112)更包括真空兼容连接件(119)，所述真空兼容连接件用以连接所述支撑装置于用以于真空腔室中处理载体的设备的从动部件，或用以连接所述支撑装置于所述真空腔室中的部件。

7.如权利要求1至6的任一项的用以支撑于真空处理系统中的载体或部件的支撑装置(100)的使用。

8.一种制造支撑装置(100)的方法，所述支撑装置用以支撑真空腔室(101)中的载体或部件，所述方法包括：

提供壳体(112)，所述壳体用以至少部分地容纳一或多个电性可控制支撑元件(111)；

提供具有容置部(113)的所述壳体(112)，所述容置部用于所述一或多个电性可控制支撑元件(111)；

提供具有气密连接件(115)的所述壳体(112)，所述气密连接件用于电性供应线，所述电性供应线用于所述一或多个电性可控制支撑元件(111)；

放置所述一或多个电性可控制支撑元件(111)至所述容置部(113)中；以及

提供所述壳体和布置于所述容置部(113)中的所述一或多个电性可控制支撑元件(111)之间的气密密封。

9.如权利要求8所述的方法，其中提供所述壳体(112)和所述一或多个电性可控制支撑元件(111)之间的所述气密密封包括焊接片元件(117)于所述壳体(112)，尤其激光焊接片元件(117)于所述壳体(112)。

10.如权利要求8或9所述的方法，其中提供具有所述气密连接件(115)的所述壳体(112)包括提供导引孔及/或提供真空兼容连接件(119)，提供所述导引孔用以气密导引所述壳体中的所述电性供应线，提供所述真空兼容连接件(119)用以气密连接所述支撑装置于用以处理真空腔室中的载体的设备的从动部件，或用以气密连接所述支撑装置于真空腔室中的部件。

11.如权利要求8至10的任一项所述的方法，所述方法更包括通过一或多个密封栓封闭一或多个加工孔，所述一或多个加工孔提供于所述壳体中。