[发明专利]热电模块

说明书

本发明的热电模块(10)具备：第一热电元件(1P)及第二热电元件(1N)；第一电极(21)，其具有板状的主体部(211)，主体部(211)的第一面与第一热电元件(1P)的第一端面以及第二热电元件(1N)的第一端面接合；第二电极(22A)，其与第一热电元件(1P)的第二端面接合；以及第三电极(22B)，其与第二热电元件(1N)的第二端面接合，第一电极(21)具有形成于宽度方向(D₂)的第一侧(211A)的第一切口部(213A)和形成于宽度方向(D₂)的第二侧(211B)的第二切口部(213B)，在宽度方向(D₂)上，在第一电极(21)的第一侧(211A)与第二侧(211B)之间的区间，形成有第一切口部(213A)或第二切口部(213B)的至少任一个。

技术领域

本发明涉及热电模块。

背景技术

通常，在热电模块中，电极与热电元件的端面接合，相邻的热电元件通过该电极相互电连接。这样的热电模块例如记载在专利文献1中。在专利文献1中，特别提出了能够一边增大与热电元件的端面接合的电极的面积、一边防止热应力在热电元件的端面的四个角部的集中的热电模块。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-112587号公报

发明内容

发明要解决的课题

如上述专利文献1所记载的那样，若对热电模块施加电流，则在模块的一个面由于产生吸热现象而使得电极被冷却，在另一个面由于产生散热现象而使得电极被加热。在专利文献1中，提出有如下的方案：在吸热侧，通过从热电元件的端面的四个角部隔开间隔地配置电极来防止热应力的集中。

但是，专利文献1只不过是提出了在热电元件具有矩形的端面的情况下在端面的四个角部防止热应力的集中的技术，并没有提出应对除此之外的热应力的技术。例如，应对在热电模块的散热侧被加热的电极进行热膨胀而产生的热应力的技术在包含专利文献1在内的现有技术中并未提出。

鉴于上述情况，本发明的目的之一在于提供一种可以降低由于电极的热膨胀而在热电元件与电极的接合部产生的应力的热电模块。

用于解决课题的方案

本发明的热电模块的特征在于，具备：第一热电元件及第二热电元件；第一电极，所述第一电极具有板状的主体部，所述主体部的第一面与所述第一热电元件的第一端面以及所述第二热电元件的第一端面接合而将所述第一热电元件及第二热电元件相互电连接；第二电极，所述第二电极与所述第一热电元件的与所述第一端面相反的相反侧的第二端面接合；以及第三电极，所述第三电极与所述第二热电元件的与所述第一端面相反的相反侧的第二端面接合，所述第一电极具有：在与将所述第一热电元件及第二热电元件各自的中心连接的长度方向对应的宽度方向的第一侧形成的第一切口部、以及在所述宽度方向的第二侧形成的第二切口部，在所述宽度方向上，在所述第一电极的所述第一侧与所述第二侧之间的区间，形成有所述第一切口部或所述第二切口部的至少任一个。

根据本发明，由于电极的热膨胀而产生的热应力通过在电极的宽度方向的两侧形成的切口部的变形而被吸收，因此，可以降低在热电元件与电极的接合部产生的应力。

附图说明

图1是表示包括本发明的实施方式的热电模块在内的等离子体处理装置的图。

图2是表示本发明的实施方式的热电模块中的上表面侧电极的平面配置的例子的图。

图3是放大表示图2所示的上表面侧电极的形状的图。

图4是表示在图3所示的上表面侧电极产生热应力的状态的图。

图5是表示作为针对图4的例子的比较例，在上表面侧电极未形成切口部的情况下产生热应力的状态的图。